不銹鋼硅烷燃燒廢氣凈化塔

一、產(chǎn)品概述

我公司生產(chǎn)的不銹鋼硅烷燃燒廢氣凈化塔是處理硅烷、氨氣及其他堿性可溶性氣體的廢氣凈化設備，主要用于處理太陽能電池生產(chǎn)線行業(yè)以及PECVD化學氣相沉淀工藝所產(chǎn)生的廢氣。

二、適用范圍

我公司生產(chǎn)的硅烷廢氣凈化塔，主要用于單晶硅、多晶硅行業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生的硅烷尾氣凈化。該設備的成功應用，主要是我公司技術(shù)人員對國外半導體行業(yè)凈化硅烷尾氣技術(shù)方面的消化吸收，來滿足國內(nèi)太陽能、光能行業(yè)，半導體行業(yè)及CVD化學氣體沉積工藝中產(chǎn)生的硅烷氣體凈化,有圓形和方形可選。

三、設備組成

本產(chǎn)品在結(jié)構(gòu)上主要由不銹鋼殼體、燃燒系統(tǒng)、洗滌系統(tǒng)和清渣系統(tǒng)組成。

在進氣方便采用壓縮空氣加新風進氣口雙進風形式，提高產(chǎn)品運行效率和可靠性。在噴淋系統(tǒng)方面，采用循環(huán)水泵與自動補水相結(jié)合的方法，風機采用一用一備形式，這些工藝特點使得本產(chǎn)品在安全可靠性方面得到極大保證。

內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時配備了氮氣入口，更加大了設備的安全性。

在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來的粉塵通過排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更容易、更有效。經(jīng)權(quán)威部門檢測，客戶單位硅烷（SiH4）去除率≥99.99％，氨氣（Nspan）以及其他水溶性的凈化率高達99.99％。

四、工作原理

本產(chǎn)品采用不銹鋼板進行制造，根據(jù)硅烷與空氣接觸而自然的特點，使硅烷在燃燒室與空氣接觸燃燒，燃燒后的氣體穿過填料層再進入廢氣凈化塔噴淋室，經(jīng)過噴淋處理，使廢氣與中和循環(huán)液接觸反應，然后進入脫液器處理后由抽風機排入大氣。

五、選型及技術(shù)參數(shù)

六、注意事項

1 、設備安裝結(jié)束后，在試車之前必須先清除塔內(nèi)污物。

2 、加注中和液至所需范圍。

3 、開水泵運行，檢查是否正常運轉(zhuǎn)，檢查壓力表是否正常。

4 、開風機運行，檢查運轉(zhuǎn)是否正常。

5 、 CWJ 廢氣凈化塔為負壓運行，如果負壓過大則打開新風閥進行調(diào)節(jié)。

6 、整個系統(tǒng)的風量通過廢氣凈化塔出口管道上的調(diào)節(jié)閥進行調(diào)節(jié)。

7 、每天必須檢查儲液箱中的液位，不低于溢流口為正常。

8 、如果水泵-1 損壞需立即打開應急補水閥進行噴淋處理。

七、客戶現(xiàn)場案例

宜興歐凱環(huán)境工程有限公司從事酸霧吸收塔,廢氣吸收塔,反滲透設備，地埋式污水處理設備、機械格柵等的設計與制造，是一家集污水處理設備、廢氣處理設備研發(fā)與制造為一體的的環(huán)�？萍夹推髽I(yè)。長期以來，歐凱環(huán)保始終致力于廢水、廢氣處理設備及其它相關(guān)產(chǎn)品的開發(fā)應用，以豐富的產(chǎn)品線，設計、制造和安裝了從單臺地埋式污水處理設備，到包含全自動污水處理系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)在內(nèi)的大型環(huán)保系統(tǒng)配套工程，涉及眾多行業(yè)，足跡遍及*和海外。

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