在科研與工業(yè)制造等眾多領域，光學儀器如激光干涉儀、光學顯微鏡、電子顯微鏡等，發(fā)揮著無可替代的關鍵作用，而它們對運行環(huán)境的要求極為苛刻，尤其是溫濕度、潔凈度以及抗微震性能。精密環(huán)控柜的出現(xiàn)，為這些精密儀器提供了理想的運行環(huán)境。以激光干涉儀為例，其憑借納米級別的高精度測量能力，在諸多精密領域不可或缺。但它對溫度極度敏感，哪怕有 0.01℃的溫度波動，由于儀器主體與測量目標熱脹冷縮程度的差異，會造成測量基線改變，致使測量位移結果出現(xiàn)偏差。精密環(huán)控柜憑借超高精度溫度控制，將溫度波動控制在極小范圍，有力保障了激光干涉儀測量的準確性。設備內部壓力穩(wěn)定性可達 +/-3Pa。北京恒溫恒濕模擬柜
刻蝕的目的在于去除硅片上不需要的材料，從而雕琢出精細的電路結構。在這一精細操作過程中，溫度的波動都會如同“蝴蝶效應”般，干擾刻蝕速率的均勻性。當溫度不穩(wěn)定時，硅片不同部位在相同時間內所經歷的刻蝕程度將參差不齊，有的地方刻蝕過度，有的地方刻蝕不足，直接破壞芯片的電路完整性，嚴重影響芯片性能。濕度方面，一旦出現(xiàn)不穩(wěn)定狀況，刻蝕環(huán)境中的水汽會與刻蝕氣體發(fā)生復雜的化學反應，生成一些難以預料的雜質。這些雜質可能會附著在芯片表面，或是嵌入剛剛刻蝕形成的微觀電路結構中，給芯片質量埋下深深的隱患，后續(xù)即便經過多道清洗工序，也難以徹底根除這些隱患帶來的負面影響。湖北恒溫恒濕實驗室設備運行穩(wěn)定性高，可連續(xù)穩(wěn)定工作時間大于144h。
激光干涉儀以其納米級別的測量精度，在半導體制造、精密機械加工等領域發(fā)揮著關鍵作用。然而，它對環(huán)境變化極為敏感，溫度、濕度的微小波動以及空氣潔凈度的差異，都可能干擾激光的傳播路徑與干涉效果，致使測量結果出現(xiàn)偏差。精密環(huán)控柜的超高精度溫度控制，能將溫度波動控制在極小區(qū)間，如關鍵區(qū)域 ±2mK（靜態(tài)），同時確保濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h，并且實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，為激光干涉儀提供穩(wěn)定、潔凈的測量環(huán)境，保障其測量精度不受外界因素干擾。光譜分析儀用于分析物質的光譜特性，廣泛應用于半導體材料檢測、化學分析等領域。在工作時，外界環(huán)境的不穩(wěn)定可能導致儀器內部光學元件的性能變化，影響光譜的采集與分析精度。精密環(huán)控柜通過調控溫濕度，避免因溫度變化使光學元件熱脹冷縮產生變形，以及因濕度異常造成的鏡片霉變、光路散射等問題。其穩(wěn)定的環(huán)境控制能力，保證光譜分析儀能夠準確、可靠地分析物質光譜，為科研與生產提供數據支持。
在芯片這一高科技產品的復雜生產流程里，眾多環(huán)節(jié)對溫濕度的波動展現(xiàn)出了近乎苛刻的精密度要求。光刻過程中，利用高精度的光刻設備，將預先設計好的復雜電路圖案轉移至硅片表面。溫度的穩(wěn)定性起著決定性作用，哪怕有零點幾攝氏度的微小波動，都會使光刻膠內部的化學反應速率產生偏差。光刻膠作為一種對光敏感的高分子材料，其反應速率的改變將直接作用于光刻成像效果，致使圖案邊緣模糊、線條粗細不均，進而讓芯片上的線路出現(xiàn)偏差，甚至引發(fā)短路故障，讓前期投入的大量人力、物力和時間付諸東流。與此同時，濕度因素同樣不可小覷。光刻車間若濕度偏高，水汽極易滲透至光刻膠內部，使其含水量上升，感光度隨之降低，如同給精密的 “光刻鏡頭” 蒙上一層霧靄，嚴重影響光刻精度，導致芯片良品率大打折扣，大幅增加生產成本。精密環(huán)控設備為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。
我司自主研發(fā)的高精密控溫技術，控制輸出精度達 0.1%，能精細掌控溫度變化。溫度波動控制可選 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多檔，滿足嚴苛溫度需求。該系統(tǒng)潔凈度表現(xiàn)優(yōu)異，可達百級、十級、一級。關鍵區(qū)域靜態(tài)溫度穩(wěn)定性 ±5mK，內部溫度均勻性小于 16mK/m，為芯片研發(fā)等敏感項目營造理想溫場，保障實驗數據不受溫度干擾。濕度方面，8 小時內穩(wěn)定性可達 ±0.5%；壓力穩(wěn)定性為 +/-3Pa，設備還能連續(xù)穩(wěn)定工作 144 小時，助力長時間實驗與制造。在潔凈度上，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3，既確保實驗結果準確可靠，又保障精密儀器正常工作與使用壽命，推動科研與生產進步。為適配不同安裝場景，其運用可拆卸鋁合金框架，支持現(xiàn)場靈活組裝。上海恒溫恒濕調控箱
電子顯微鏡觀測時，設備營造的穩(wěn)定環(huán)境，確保成像清晰，助力科研突破。北京恒溫恒濕模擬柜
電子顯微鏡用于觀察微觀世界，其內部的電子束對環(huán)境要求極高。環(huán)境中的塵埃顆�？赡芪皆陔娮邮窂缴系牟考砻�，影響成像質量。精密環(huán)控柜的超高水準潔凈度控制，將空氣中塵埃過濾干凈，為電子顯微鏡提供超潔凈空間。同時，其具備的抗微震功能，能有效隔絕外界震動干擾，確保電子顯微鏡穩(wěn)定成像，讓科研人員清晰觀察微觀結構。對于光學顯微鏡，溫度和濕度變化會影響鏡片的光學性能。濕度不穩(wěn)定可能導致鏡片表面產生水汽凝結，降低光線透過率。精密環(huán)控柜通過溫濕度控制，為光學顯微鏡提供穩(wěn)定環(huán)境，保證其光學性能穩(wěn)定，成像清晰。北京恒溫恒濕模擬柜
