精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成,為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風機引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán),控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理,從而使柜內(nèi)的溫濕度達到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實現(xiàn)潔凈度百級、十級、一級,溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來,已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務(wù),獲得了眾多好評。為滿足多樣化需求,箱體采用高質(zhì)量鈑金材質(zhì),可按需定制外觀顏色。陜西掃描電子顯微鏡溫濕度
在科研與工業(yè)制造等眾多領(lǐng)域,光學(xué)儀器如激光干涉儀、光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡等,發(fā)揮著無可替代的關(guān)鍵作用,而它們對運行環(huán)境的要求極為苛刻,尤其是溫濕度、潔凈度以及抗微震性能。精密環(huán)控柜的出現(xiàn),為這些精密儀器提供了理想的運行環(huán)境。以激光干涉儀為例,其憑借納米級別的高精度測量能力,在諸多精密領(lǐng)域不可或缺。但它對溫度極度敏感,哪怕有 0.01℃的溫度波動,由于儀器主體與測量目標熱脹冷縮程度的差異,會造成測量基線改變,致使測量位移結(jié)果出現(xiàn)偏差。精密環(huán)控柜憑借超高精度溫度控制,將溫度波動控制在極小范圍,有力保障了激光干涉儀測量的準確性。陜西溫濕度控制房這些高精度傳感器能夠精確感知環(huán)境參數(shù)的變化,為精確控制提供基礎(chǔ)。
質(zhì)譜儀在半導(dǎo)體和電子芯片制造中承擔著對材料成分、雜質(zhì)含量等進行高精度分析的重任。其工作原理基于對離子的精確檢測與分析,而環(huán)境中的微小干擾都可能影響離子的產(chǎn)生、傳輸與檢測過程。例如,空氣中的塵埃顆粒可能吸附在離子源或檢測器表面,導(dǎo)致檢測信號失真;溫濕度的波動可能改變儀器內(nèi)部電場、磁場的分布,影響離子的飛行軌跡與檢測精度。精密環(huán)控柜通過高效的空氣過濾系統(tǒng),實現(xiàn)超高水準的潔凈度控制,確保質(zhì)譜儀工作環(huán)境無塵、無雜質(zhì)。同時,憑借高超的溫濕度控制能力,將溫度波動控制在極小范圍,維持濕度穩(wěn)定,為質(zhì)譜儀提供穩(wěn)定的工作環(huán)境,保證其對半導(dǎo)體材料的分析結(jié)果準確可靠。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不斷追求更高集成度、更小芯片尺寸的發(fā)展趨勢下,精密環(huán)控柜的環(huán)境保障作用愈發(fā)關(guān)鍵,助力質(zhì)譜儀為半導(dǎo)體材料研發(fā)、芯片制造工藝優(yōu)化等提供有力的數(shù)據(jù)支撐,推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)創(chuàng)新與發(fā)展。
對于光學(xué)儀器,溫度哪怕有細微變化,都會引發(fā)諸多問題。由于大多數(shù)光學(xué)儀器采用了玻璃鏡片、金屬鏡筒等不同材質(zhì)的部件,這些材料熱膨脹系數(shù)各異。當溫度升高時,鏡片會膨脹,鏡筒等支撐結(jié)構(gòu)也會發(fā)生相應(yīng)變化,若膨脹程度不一致,就會使鏡片在鏡筒內(nèi)的位置精度受到影響,光路隨之發(fā)生偏差。例如在顯微鏡觀察中,原本清晰聚焦的樣本圖像會突然變得模糊,科研人員無法準確獲取樣本細節(jié),影響實驗數(shù)據(jù)的準確性。對于望遠鏡而言,溫度波動導(dǎo)致的光路變化,會讓觀測天體時的成像偏離理想位置,錯過重要天文現(xiàn)象的記錄。精密環(huán)境控制設(shè)備內(nèi)部壓力波動極小,穩(wěn)定在 +/-3Pa。
設(shè)備運行靜音高效是精密環(huán)控柜的又一優(yōu)勢。采用的 EC 風機,具備更高效、更強大、更安靜的運行特點。相比傳統(tǒng)風機,EC 風機能夠在提供充足風量的同時,有效降低能耗,提高能源利用效率。制冷單元內(nèi)部采用高效隔音材質(zhì),進一步降低設(shè)備噪音,使其運行噪音小于 45dB 。噪音作為一種能量對于生產(chǎn)過程存在難以忽視的影響,極低的噪音恰恰能防止設(shè)備收到干擾,影響生產(chǎn)環(huán)境。高效的運行則保證了設(shè)備能夠快速、穩(wěn)定地調(diào)節(jié)溫濕度和潔凈度,滿足各類精密實驗和生產(chǎn)的需求。配備的智能傳感器,能實時捕捉微小的環(huán)境變化,反饋給控制系統(tǒng)及時調(diào)整。為精密設(shè)備提供穩(wěn)定環(huán)境。陜西溫濕度控制房
高精密恒溫恒濕潔凈環(huán)境的長期穩(wěn)定運行離不開具有高精度傳感器的恒溫恒濕設(shè)備。陜西掃描電子顯微鏡溫濕度
在精密模具制造這一精益求精的領(lǐng)域,溫濕度控制是保障產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵要素。模具型腔對精度有著嚴苛要求,這就決定了整個加工過程必須維持高度穩(wěn)定。一旦溫度出現(xiàn)波動,模具鋼材料會因熱脹冷縮而發(fā)生細微形變,直接影響型腔尺寸精度。這在注塑成型環(huán)節(jié)影響尤甚,極有可能導(dǎo)致塑料制品出現(xiàn)尺寸偏差、飛邊等明顯缺陷。而當濕度異常時,潮濕空氣就像隱藏的 “破壞者”,悄無聲息地侵蝕模具表面,致使模具生銹、腐蝕。這不僅大幅降低模具的使用壽命,還會增加生產(chǎn)成本,對模具在汽車、家電等眾多行業(yè)的應(yīng)用效果產(chǎn)生負面影響,阻礙相關(guān)產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。陜西掃描電子顯微鏡溫濕度