大氣射流等離子清洗機結構簡單,安裝方便,可對塑料、橡膠、金屬、玻璃、陶瓷、紙質等材料進行表面處理,已經(jīng)廣泛應用于印刷、包裝、電子、汽車等行業(yè)。大氣射流等離子清洗機分為大氣射流直噴式等離子清洗機和大氣射流旋轉式等離子清洗機。大氣射流直噴式等離子清洗機射出的等離子體能量集中,溫度偏高,比較適合處理點狀和線狀,對溫度不是非常敏感的材料表面,根據(jù)其噴頭大小可以處理的寬度為2-15mm。大氣射流旋轉式等離子清洗機射出的等離子體比較分散,溫度適中,比較適合處理面狀,對溫度有點敏感的材料表面,根據(jù)其旋轉噴頭大小可以處理的寬度為20-90mm。真空等離子清洗設備是利用等離子體的物理和化學作用來清洗物體表面的一種設備。廣東等離子清洗機廠家電話
在微電子封裝領域,Plasma封裝等離子清洗機發(fā)揮著至關重要的作用。隨著集成電路技術的不斷發(fā)展,芯片尺寸不斷縮小,對封裝過程中的表面清潔度要求也越來越高。傳統(tǒng)的濕法清洗方法難以徹底去除芯片表面的微小顆粒和有機物殘留,而Plasma封裝等離子清洗機則能夠在分子級別上實現(xiàn)表面的深度清潔,有效去除這些污染物,提高封裝的可靠性和穩(wěn)定性。此外,等離子體還能對芯片表面進行改性,提高其與封裝材料的粘附力,降低封裝過程中的失效風險。因此,Plasma封裝等離子清洗機已成為微電子封裝生產(chǎn)線上的必備設備。福建低溫等離子清洗機設備等離子體表面處理機也叫等離子清洗機、等離子表面處理機、plasma清洗機。
等離子清洗機在大規(guī)模集成電路和分立器件行業(yè)中的應用在大規(guī)模集成電路和分立器件行業(yè)中,等離子體清洗一般應用于以下幾個關鍵步驟中:1、去膠,用氧的等離子體對硅片進行處理,去除光刻膠;2、金屬化前器件襯底的等離子體清洗;3、混合電路粘片前的等離子體清洗;4、鍵合前的等離子體清洗;5、金屬化陶瓷管封帽前的等離子體清洗。例如,在一個COB基板上,在SMT元件粘接好后進行IC芯片的引線鍵合。在表面安裝元件粘接后,會有大量的助焊劑污染物和水殘余,而為了在PCB基板上可靠地進行引線鍵合,這些必須去除。
等離子清洗機在IC封裝中的應用:塑封固化前:IC封裝的注環(huán)氧樹脂過程中,污染物的存在還會導致氣泡的形成,氣泡會使芯片容易在溫度變化中損壞,降低芯片的使用壽命。所以,避免塑封過程中形成氣泡同樣是需解決的問題。芯片與基板在等離子清洗后會更加緊密地和膠體相結合,氣泡的形成將減少,同時也可以顯著提高元件的特性,引線鍵合前:芯片在引線框架基板上粘貼后,要經(jīng)過高溫固化,如果這時上面存在污染物,這些氧化物會使引線與芯片及基板之間焊接效果不完全或黏附性差,影響鍵合強度。等離子清洗運用在引線鍵合前,會顯著提高其表面活性,從而提高鍵合強度及鍵合引線的拉力均勻性。在IC封裝工藝過程中,芯片表面的氧化物及顆粒污染物會降低產(chǎn)品質量,如果在封裝工藝過程中的裝片前引線鍵合前及塑封固化前進行等離子清洗,則可有效去除這些污染物。在噴涂UV絕緣材料之前,通過等離子表面處理可以粗化電芯鋁殼表面,提高其表面附著力。
等離子清洗工藝具有效果明顯、操作簡單的優(yōu)點,在電子封裝(包括半導體封裝、LED封裝等)中得到了廣泛的應用。LED封裝工藝過程中,芯片表面的氧化物及顆粒污染物會降低產(chǎn)品質量,如果在封裝工藝過程中的點膠前、引線鍵合前及封裝固化前進行等離子清洗,則可有效去除這些污染物。LED封裝工藝在LED產(chǎn)業(yè)鏈中,上游為襯底晶片生產(chǎn),中游為芯片設計及制造生產(chǎn),下游為封裝與測試。研發(fā)低熱阻、優(yōu)異光學特性、高可靠的封裝技術是新型LED走向實用、走向市場的必經(jīng)之路,從某種意義上講封裝是連接產(chǎn)業(yè)與市場之間的紐帶,只有封裝好才能成為終端產(chǎn)品,從而投入實際應用。LED封裝技術大都是在分立器件封裝技術基礎上發(fā)展與演變而來的,但卻與一般分立器件不同,它具有很強的特殊性,不但完成輸出電信號、保護管芯正常工作及輸出可見光的功能,還要有電參數(shù)及光參數(shù)的設計及技術要求,所以無法簡單地將分立器件的封裝用于LED。等離子體是物質的一種狀態(tài),也叫做物質的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。北京晟鼎等離子清洗機量大從優(yōu)
等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機,或者等離子表面處理儀。廣東等離子清洗機廠家電話
片式真空等離子清洗機針對半導體行業(yè),DB/WB工藝、RDL工藝、Molding工藝、FlipChip(FC)倒裝工藝等,能夠大幅提高其表面潤濕性,保證后續(xù)工藝質量,從而提高封裝工藝的可靠性。設備優(yōu)勢:1.一體式電極板結構設計,等離子體密度高,均勻性好,處理效果佳2.雙工位處理平臺,四軌道同時上料,有效提升產(chǎn)能3.可兼容多種彈匣尺寸,可自動調節(jié)寬度,提升效率并具備彈匣有無或裝滿報警提示功能4.工控系統(tǒng)控制,一鍵式操作,自動化程度高。行業(yè)應用:1.金屬鍵合前處理:去除金屬焊盤上的有機污染物,提高焊接工藝的強度和可靠性2.LED行業(yè):點銀膠、固晶、引線鍵合前、LED封裝等工序中可提高粘和強度,減少氣泡,提高發(fā)光率3.PCB/FPC行業(yè):金屬鍵合前、塑封前、底部填充前處理、光刻膠去除、基板表面活化、鍍膜,去除靜電及有機污染物廣東等離子清洗機廠家電話