2D x-ray圖8當(dāng)應(yīng)用2D x-ray技術(shù)時,所有的器件都需要被布置在 PCB的正面。而用2Dx-ray去檢測這些器件時,還必須再定 義出一塊沒有器件的地方為“禁區(qū)”。對于有些BGAs,會 推薦使用一種淚滴型的不對稱焊盤設(shè)計,這使得焊錫的成 型性質(zhì)被系統(tǒng)錯誤的判斷為一種幾何的連接形態(tài);此外, 一些特殊的QFN向內(nèi)或向外的彎月型焊盤設(shè)計也同樣有這種情況。QFN 焊盤設(shè)計QFN器件的焊盤尺寸、焊膏印 刷面積與它的引腳尺寸是同樣大小 的,而且器件的引腳是交錯排列在 封裝體底部的(圖8)。在這個位置產(chǎn)生的定量的過程控制信息,提供高速片機和密間距元件貼裝設(shè)備校準(zhǔn)的信息。張家港安裝自動化缺陷檢測設(shè)備設(shè)備廠家
缺陷類型:微粒缺陷(如異物污染)圖形缺陷(如光刻圖案偏移) [1-3]2.檢測精度:可實現(xiàn)0.2微米級缺陷的識別,滿足45納米工藝節(jié)點的質(zhì)量控制需求 [1-3]。吞吐量:每小時處理20片300毫米晶圓(基于2021年技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)) [1] [3]適用工藝:45納米及更高制程的集成電路制造 [1-3]主要用于半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的在線缺陷檢測,覆蓋晶圓前道制程中的關(guān)鍵工藝步驟,確保芯片良率與可靠性 [1-3]。上海集成電路研發(fā)中心有限公司自2011年起使用KLA-Tencor Puma9150型號設(shè)備(截至2020年),同期配備頻譜分析儀、晶邊缺陷檢查設(shè)備等科研儀器 [2-3]。昆山重型自動化缺陷檢測設(shè)備規(guī)格尺寸根據(jù)被檢測元件位置的瞬間變化進(jìn)行檢測窗口的自動化校正,達(dá)到高精度檢測.
基準(zhǔn)點圖4設(shè)備可以檢查所有 類型的基準(zhǔn)點,而且任 何構(gòu)件都可以被定義成 一個基準(zhǔn)點。雖然三個基 準(zhǔn)點可以補償一塊單板的 變形,但通常情況下只需 要確定兩個基準(zhǔn)點就可以 了。每個基準(zhǔn)點至少離單 板邊緣5mm(0.2”)。 十字形、菱形、星形等比較適用,并建議使用統(tǒng)一的黑背 景。此外,十字形的基準(zhǔn)點特別有優(yōu)勢,他們在檢測光下的圖像十分穩(wěn)定且可以被快速和容易地判定。。確認(rèn)壞板設(shè)備有能力檢查所有已知類型的壞板標(biāo)識。板上的任 何構(gòu)件都可以被定義為壞板標(biāo)識。這里建議采用與上述基 準(zhǔn)點的判定相類似的方法,即在可能的情況下,首先通過 檢查整板或已完成組裝的單板上的單個壞板標(biāo)識來進(jìn)行確 認(rèn)。板上每個單獨的壞板標(biāo)識只有在整板的壞板標(biāo)識檢查失敗后才會被逐一檢查;整板的壞板標(biāo)識應(yīng)該定位于PCB的邊上。
晶片缺陷檢測儀是一款基于光學(xué)和機械技術(shù)的精密分析儀器,主要用于晶圓制造過程中表面顆粒、劃痕、凹坑和微管缺陷的分析檢測 [1]。該設(shè)備采用405nm光學(xué)系統(tǒng)與多頻道探測器組合技術(shù),可檢測顆粒、劃痕、凹坑及微管等缺陷類型,并配備2至6英寸夾具適配不同規(guī)格晶片。其自動化功能包含機械手臂傳輸和自動對焦系統(tǒng),提升了檢測效率和精度。截至2021年1月,該設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)包括 [1]:1.采用405nm波長的光學(xué)系統(tǒng),提升表面微小缺陷的識別能力;傳統(tǒng)圖像處理:采用全局/局部閾值分割進(jìn)行像素分類,配合邊緣檢測算法提取缺陷輪廓.
適應(yīng)性程序沒有發(fā)現(xiàn)轉(zhuǎn)到無鉛會對焊點質(zhì)量的檢查帶來什么影響。缺陷看上去還是一樣的。毫無疑問,只需要稍微修改一下數(shù)據(jù)庫,就足以排除其他誤報可能會帶來的影響。在元件頂上的內(nèi)容改變時,就需要大量的工作,確定門限值。這些可以納入到標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫中。在元件的一端立起來時,***其他環(huán)節(jié)的檢測,便可以進(jìn)行可靠的分析。對于橋接的形成或者元件一端立起來的普遍看法,證明常常不是那樣。經(jīng)驗表明,橋接的形成沒有改變,元件一端立起來的現(xiàn)像就會有所減少。深度學(xué)習(xí)模型:基于卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的特征提取技術(shù),適用于復(fù)雜背景缺陷檢測.張家港通用自動化缺陷檢測設(shè)備銷售電話
在ICT上,相對這些情況的缺陷概率直接與情況的嚴(yán)重性成比例。張家港安裝自動化缺陷檢測設(shè)備設(shè)備廠家
避免焊點反射焊點的形狀和接觸角是焊點反射的根源。焊點的形成 依賴于焊盤的尺寸、器件的高度、焊錫的數(shù)量和回流工藝 參數(shù)。為了防止焊接反射,應(yīng)當(dāng)避免器件對稱排列。波峰焊圖5經(jīng)過波峰焊后,焊點所有的參數(shù)會有很大的變化,這 主要是由于焊爐內(nèi)錫的老化導(dǎo)致焊盤反射特性從光亮到灰 暗,因此,在檢查時算法上必須要包含這些變化。在波峰焊 中,典型的缺陷是短路和焊珠。當(dāng)檢測到短路時,假如印刷 的圖案或者無反射印刷這兩種情況的減少以及應(yīng)用阻焊層, 就可以消除這些誤報。如果基準(zhǔn)點沒有被阻焊膜蓋住而過波 峰焊,可能會導(dǎo)致一個圓形基準(zhǔn)點上錫成了一個半球,其內(nèi) 在的反射特性將會發(fā)生改變;應(yīng)用十字型作為基準(zhǔn)點或者用 阻焊層覆蓋基準(zhǔn)點,可以防止這種情況的發(fā)生。張家港安裝自動化缺陷檢測設(shè)備設(shè)備廠家
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