金屬氧化物光刻膠:EUV時(shí)代的潛力股基本原理:金屬氧簇或金屬有機(jī)框架結(jié)構(gòu)。**優(yōu)勢(shì):高EUV吸收率(減少劑量需求)、高抗刻蝕性(簡(jiǎn)化工藝)、潛在的低隨機(jī)缺陷。工作機(jī)制:曝光導(dǎo)致溶解度變化(配體解離/交聯(lián))。**廠(chǎng)商與技術(shù)(如Inpria)。面臨的挑戰(zhàn):材料合成復(fù)雜性、顯影工藝優(yōu)化、與現(xiàn)有半導(dǎo)體制造流程的整合、金屬污染控制。應(yīng)用現(xiàn)狀與前景。光刻膠與光刻工藝的協(xié)同優(yōu)化光刻膠不是孤立的,必須與光刻機(jī)、掩模版、工藝條件協(xié)同工作。光源波長(zhǎng)對(duì)光刻膠材料選擇的決定性影響。數(shù)值孔徑的影響。曝光劑量、焦距等工藝參數(shù)對(duì)光刻膠圖形化的影響。光刻膠與抗反射涂層的匹配。計(jì)算光刻(OPC, SMO)對(duì)光刻膠性能的要求。光...
《光刻膠巨頭巡禮:全球市場(chǎng)格局與主要玩家》**內(nèi)容: 概述全球光刻膠市場(chǎng)(高度集中、技術(shù)壁壘高),介紹主要供應(yīng)商(如東京應(yīng)化TOK、JSR、信越化學(xué)、杜邦、默克)。擴(kuò)展點(diǎn): 各公司的優(yōu)勢(shì)領(lǐng)域(如TOK在KrF/ArF**,JSR在EUV**)、國(guó)產(chǎn)化現(xiàn)狀與挑戰(zhàn)?!秶?guó)產(chǎn)光刻膠的崛起:機(jī)遇、挑戰(zhàn)與突破之路》**內(nèi)容: 分析中國(guó)光刻膠產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀(在G/I線(xiàn)相對(duì)成熟,KrF/ArF逐步突破,EUV差距大)。擴(kuò)展點(diǎn): 面臨的“卡脖子”困境(原材料、配方、工藝、驗(yàn)證周期)、政策支持、國(guó)內(nèi)主要廠(chǎng)商進(jìn)展、未來(lái)展望。光刻膠國(guó)產(chǎn)化率不足10%,產(chǎn)品仍依賴(lài)進(jìn)口,但本土企業(yè)正加速突破。西安光刻膠國(guó)產(chǎn)廠(chǎng)商《光刻膠缺陷分析...
光刻膠的環(huán)境、健康與安全考量潛在危害:易燃易爆(溶劑)。健康危害(皮膚/眼睛刺激、吸入風(fēng)險(xiǎn)、部分組分可能有生殖毒性或致*性)。環(huán)境污染(VOCs排放、廢液處理)。法規(guī)要求:化學(xué)品分類(lèi)與標(biāo)簽(GHS)。工作場(chǎng)所暴露限值。安全數(shù)據(jù)表。廢氣廢水排放標(biāo)準(zhǔn)。EHS管理實(shí)踐:工程控制(通風(fēng)櫥、局部排風(fēng))。個(gè)人防護(hù)裝備。安全操作程序培訓(xùn)?;瘜W(xué)品儲(chǔ)存管理。泄漏應(yīng)急響應(yīng)。廢棄物合規(guī)處置。行業(yè)趨勢(shì):開(kāi)發(fā)更環(huán)保的光刻膠(水性、低VOC、無(wú)酚無(wú)苯)。光刻膠在微流控芯片制造中的應(yīng)用微流控芯片的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)(微米級(jí)通道、腔室)。光刻膠作為模具(主模)的關(guān)鍵作用。厚光刻膠(如SU-8)用于制作高深寬比結(jié)構(gòu)。光刻膠作為**層制作...
《化學(xué)放大光刻膠(CAR):DUV時(shí)代的***》技術(shù)突破化學(xué)放大光刻膠(ChemicalAmplifiedResist,CAR)通過(guò)光酸催化劑(PAG)實(shí)現(xiàn)“1光子→1000+反應(yīng)”,靈敏度提升千倍,支撐248nm(KrF)、193nm(ArF)光刻。材料體系KrF膠:聚對(duì)羥基苯乙烯(PHS)+DNQ/磺酸酯PAG。ArF膠:丙烯酸酯共聚物(避免苯環(huán)吸光)+鎓鹽PAG。頂層抗反射層(TARC):減少駐波效應(yīng)(厚度≈光波1/4λ)。工藝挑戰(zhàn)酸擴(kuò)散控制:PAG尺寸<1nm,后烘溫度±2°C精度。缺陷控制:顯影后殘留物需<0.001個(gè)/?。環(huán)境溫濕度波動(dòng)可能導(dǎo)致光刻膠圖形形變,需在潔凈室中嚴(yán)格控制。...
《光刻膠配套試劑:隱形守護(hù)者》六大關(guān)鍵輔助材料增粘劑(HMDS):六甲基二硅氮烷,增強(qiáng)硅片附著力??狗瓷渫繉樱˙ARC):吸收散射光(k值>0.4),厚度精度±0.5nm。顯影液:正膠:2.38%TMAH(四甲基氫氧化銨)。負(fù)膠:有機(jī)溶劑(乙酸丁酯)。剝離液:DMSO+胺類(lèi)化合物,去除殘膠無(wú)損傷。修整液:氟化氫蒸氣修復(fù)線(xiàn)條邊緣。邊緣珠清洗劑:丙二醇甲醚乙酸酯(PGMEA)。國(guó)產(chǎn)化缺口**BARC(如ArF用碳基涂層)進(jìn)口依賴(lài)度>95%,顯影液純度需達(dá)ppt級(jí)(金屬雜質(zhì)<0.1ppb)。光刻膠涂布工藝需控制厚度均勻性,為后續(xù)刻蝕奠定基礎(chǔ)。珠海光刻膠耗材:光刻膠未來(lái)十年:材料、AI與量子**字?jǐn)?shù):...
光刻膠模擬與建模:預(yù)測(cè)性能,加速研發(fā)模擬在光刻膠研發(fā)和應(yīng)用中的價(jià)值(降低成本、縮短周期)。模擬的關(guān)鍵方面:光學(xué)成像模擬: 光在光刻膠內(nèi)的分布(PROLITH, Sentaurus Lithography)。光化學(xué)反應(yīng)模擬: PAG分解、酸生成與擴(kuò)散。顯影動(dòng)力學(xué)模擬: 溶解速率與空間分布。圖形輪廓預(yù)測(cè): **終形成的三維結(jié)構(gòu)(LER/LWR預(yù)測(cè))。隨機(jī)效應(yīng)建模: 對(duì)EUV時(shí)代尤其關(guān)鍵。計(jì)算光刻與光刻膠模型的結(jié)合(SMO, OPC)?;谖锢淼哪P团c數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的模型(機(jī)器學(xué)習(xí))。光刻膠線(xiàn)寬粗糙度:成因、影響與改善定義:線(xiàn)邊緣粗糙度、線(xiàn)寬粗糙度。主要成因:分子尺度: 聚合物鏈的離散性、PAG分布的隨機(jī)...
:電子束光刻膠:納米科技的精密刻刀字?jǐn)?shù):487電子束光刻膠(EBL膠)利用聚焦電子束直寫(xiě)圖形,分辨率可達(dá)1nm級(jí),是量子芯片、光子晶體等前沿研究的**工具,占全球光刻膠市場(chǎng)2.1%(Yole2024數(shù)據(jù))。主流類(lèi)型與性能對(duì)比膠種分辨率靈敏度應(yīng)用場(chǎng)景PMMA10nm低(需高劑量)基礎(chǔ)科研、掩模版制作HSQ5nm中硅量子點(diǎn)器件ZEP5208nm高Ⅲ-Ⅴ族半導(dǎo)體納米線(xiàn)Calixarene1nm極高分子級(jí)存儲(chǔ)原型工藝挑戰(zhàn):鄰近效應(yīng)(電子散射導(dǎo)致圖形畸變)→算法校正(PROXECCO軟件);寫(xiě)入速度慢(1cm2/小時(shí))→多束電子束技術(shù)(IMSNanofabricationMBM)。國(guó)產(chǎn)突破:中微公司開(kāi)發(fā)...
:光刻膠模擬:虛擬工藝優(yōu)化的數(shù)字孿生字?jǐn)?shù):432光刻膠仿真軟件通過(guò)物理化學(xué)模型預(yù)測(cè)圖形形貌,將試錯(cuò)成本降低70%(Synopsys數(shù)據(jù)),成為3nm以下工藝開(kāi)發(fā)標(biāo)配。五大**模型光學(xué)模型:計(jì)算掩模衍射與投影成像(Hopkins公式);光化學(xué)反應(yīng)模型:模擬PAG分解與酸生成(Dill參數(shù));烘烤動(dòng)力學(xué)模型:酸擴(kuò)散與催化反應(yīng)(Fick定律+反應(yīng)速率方程);顯影模型:溶解速率與表面形貌(Mack開(kāi)發(fā)模型);蝕刻轉(zhuǎn)移模型:圖形從膠到硅的保真度(離子轟擊蒙特卡洛模擬)。工業(yè)應(yīng)用:ASMLTachyon模塊:優(yōu)化EUV隨機(jī)效應(yīng)(2024版將LER預(yù)測(cè)誤差縮至±0.2nm);中芯國(guó)際聯(lián)合中科院開(kāi)發(fā)Litho...
《光刻膠:半導(dǎo)體制造的“畫(huà)筆”,微觀世界的雕刻師》**內(nèi)容: 定義光刻膠及其在光刻工藝中的**作用(將掩模版圖形轉(zhuǎn)移到晶圓表面的關(guān)鍵材料)。擴(kuò)展點(diǎn): 簡(jiǎn)述光刻流程步驟(涂膠、前烘、曝光、后烘、顯影),強(qiáng)調(diào)光刻膠在圖形轉(zhuǎn)移中的橋梁作用。比喻其在芯片制造中的“畫(huà)筆”角色?!墩z vs 負(fù)膠:光刻膠的兩大陣營(yíng)及其工作原理揭秘》**內(nèi)容: 清晰解釋正性光刻膠(曝光區(qū)域溶解)和負(fù)性光刻膠(曝光區(qū)域交聯(lián)不溶解)的根本區(qū)別。擴(kuò)展點(diǎn): 對(duì)比兩者的優(yōu)缺點(diǎn)(分辨率、耐蝕刻性、產(chǎn)氣量等)、典型應(yīng)用場(chǎng)景(負(fù)膠常用于封裝、分立器件;正膠主導(dǎo)先進(jìn)制程)。不同制程對(duì)光刻膠的性能要求各異,需根據(jù)工藝需求精確選擇。上海LCD光...
《光刻膠巨頭巡禮:全球市場(chǎng)格局與主要玩家》**內(nèi)容: 概述全球光刻膠市場(chǎng)(高度集中、技術(shù)壁壘高),介紹主要供應(yīng)商(如東京應(yīng)化TOK、JSR、信越化學(xué)、杜邦、默克)。擴(kuò)展點(diǎn): 各公司的優(yōu)勢(shì)領(lǐng)域(如TOK在KrF/ArF**,JSR在EUV**)、國(guó)產(chǎn)化現(xiàn)狀與挑戰(zhàn)。《國(guó)產(chǎn)光刻膠的崛起:機(jī)遇、挑戰(zhàn)與突破之路》**內(nèi)容: 分析中國(guó)光刻膠產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀(在G/I線(xiàn)相對(duì)成熟,KrF/ArF逐步突破,EUV差距大)。擴(kuò)展點(diǎn): 面臨的“卡脖子”困境(原材料、配方、工藝、驗(yàn)證周期)、政策支持、國(guó)內(nèi)主要廠(chǎng)商進(jìn)展、未來(lái)展望?;瘜W(xué)放大光刻膠(CAR)采用光酸催化劑,可顯著提高深紫外(DUV)曝光效率。黑龍江PCB光刻膠感光...
《電子束光刻膠:納米結(jié)構(gòu)的然后雕刻刀》不可替代性電子束光刻(EBL)無(wú)需掩膜版,直接繪制<5nm圖形,是量子芯片、光子晶體的主要工具,但電子散射效應(yīng)要求光刻膠具備超高分辨率與低靈敏度平衡。材料體系對(duì)比類(lèi)型分辨率靈敏度(μC/cm2)適用場(chǎng)景PMMA5nm500~1000科研原型HSQ2nm3000~5000納米線(xiàn)/量子點(diǎn)Calixarene8nm80~120高量產(chǎn)效率金屬氧簇膠10nm50~80高抗刻蝕器件工藝突破多層級(jí)曝光:PMMA+HSQ疊層膠實(shí)現(xiàn)10:1高深寬比結(jié)構(gòu)。原位顯影監(jiān)控:掃描電鏡(SEM)實(shí)時(shí)觀測(cè)線(xiàn)條粗糙度。根據(jù)曝光光源的不同,光刻膠可分為紫外光刻膠(UV)、深紫外光刻膠(DU...
分辨率之爭(zhēng):光刻膠如何助力突破芯片制程極限?》**內(nèi)容: 解釋光刻膠的分辨率概念及其對(duì)芯片特征尺寸縮小的決定性影響。擴(kuò)展點(diǎn): 討論提升分辨率的關(guān)鍵因素(膠的化學(xué)放大作用、分子量分布控制)、面臨的挑戰(zhàn)(線(xiàn)邊緣粗糙度LER/LWR)?!痘瘜W(xué)放大光刻膠:現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的幕后功臣》**內(nèi)容: 詳細(xì)介紹化學(xué)放大膠的工作原理(光酸產(chǎn)生劑PAG吸收光子產(chǎn)酸,酸催化后烘時(shí)發(fā)生去保護(hù)反應(yīng))。擴(kuò)展點(diǎn): 闡述其相對(duì)于傳統(tǒng)膠的巨大優(yōu)勢(shì)(高靈敏度、高分辨率),及其在248nm、193nm及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)的主導(dǎo)地位。前烘(Pre-Bake)和后烘(Post-Bake)工藝可去除溶劑并穩(wěn)定膠膜結(jié)構(gòu)。西安正性光刻膠供應(yīng)商光刻膠...
《深紫外DUV光刻膠:ArF與KrF的戰(zhàn)場(chǎng)》**內(nèi)容: 分別介紹適用于248nm(KrF激光)和193nm(ArF激光)的DUV光刻膠。擴(kuò)展點(diǎn): 比較兩者材料體系的不同(KrF膠以酚醛樹(shù)脂為主,ArF膠需引入丙烯酸酯/脂環(huán)族以抵抗強(qiáng)吸收),面臨的挑戰(zhàn)及優(yōu)化方向?!稑O紫外EUV光刻膠:挑戰(zhàn)摩爾定律邊界的先鋒》**內(nèi)容: 聚焦適用于13.5nm極紫外光的特殊光刻膠。擴(kuò)展點(diǎn): 巨大挑戰(zhàn)(光子效率低、隨機(jī)效應(yīng)、對(duì)雜質(zhì)極度敏感)、主要技術(shù)路線(xiàn)(金屬氧化物膠、分子玻璃膠、基于PHS的改良膠)、對(duì)實(shí)現(xiàn)5nm及以下節(jié)點(diǎn)的關(guān)鍵性。精密調(diào)配的光刻膠需具備高分辨率,以確保芯片電路的精確刻畫(huà)。沈陽(yáng)PCB光刻膠國(guó)產(chǎn)廠(chǎng)家...
《新興光刻技術(shù)對(duì)光刻膠的新要求(納米壓印、自組裝等)》**內(nèi)容: 簡(jiǎn)要介紹納米壓印光刻、導(dǎo)向自組裝等下一代或替代性光刻技術(shù)。擴(kuò)展點(diǎn): 這些技術(shù)對(duì)光刻膠材料提出的獨(dú)特要求(如壓印膠需低粘度、可快速固化;DSA膠需嵌段共聚物)?!豆饪棠z的未來(lái):面向2nm及以下節(jié)點(diǎn)的材料創(chuàng)新》**內(nèi)容: 展望光刻膠技術(shù)為滿(mǎn)足更先進(jìn)制程(2nm、1.4nm及以下)所需的關(guān)鍵創(chuàng)新方向。擴(kuò)展點(diǎn): 克服EUV隨機(jī)效應(yīng)、開(kāi)發(fā)更高分辨率/更低LER的膠(如金屬氧化物膠)、探索新型光化學(xué)機(jī)制(如光刻膠直寫(xiě))、多圖案化技術(shù)對(duì)膠的更高要求等。光刻膠與自組裝材料(DSA)結(jié)合,有望突破傳統(tǒng)光刻的分辨率極限。煙臺(tái)LED光刻膠感光膠《光刻...
《光刻膠:芯片制造的“畫(huà)筆”》**作用光刻膠(Photoresist)是半導(dǎo)體光刻工藝的關(guān)鍵材料,涂覆于硅片表面,經(jīng)曝光、顯影形成微細(xì)圖形,傳遞至底層實(shí)現(xiàn)電路雕刻。其分辨率直接決定芯片制程(如3nm)。工作原理正膠:曝光區(qū)域溶解(常用DNQ-酚醛樹(shù)脂體系)。負(fù)膠:曝光區(qū)域交聯(lián)固化(環(huán)氧基為主)。流程:勻膠→前烘→曝光→后烘→顯影→蝕刻/離子注入。性能指標(biāo)參數(shù)要求(先進(jìn)制程)分辨率≤13nm(EUV膠)靈敏度≤20mJ/cm2(EUV)線(xiàn)寬粗糙度≤1.5nm抗刻蝕性比硅高5倍以上光刻膠在存儲(chǔ)器芯片(DRAM/NAND)中用于高密度存儲(chǔ)單元的刻蝕掩模。河南進(jìn)口光刻膠耗材《光刻膠的“體檢報(bào)告”:性能...
感光機(jī)制 ? 重氮型(雙液型):需混合光敏劑(如二疊氮二苯乙烯二磺酸鈉),曝光后通過(guò)交聯(lián)反應(yīng)固化,適用于精細(xì)圖案(如PCB電路線(xiàn)寬≤0.15mm)。 ? SBQ型(單液型):預(yù)混光敏劑,無(wú)需調(diào)配,感光度高(曝光時(shí)間縮短30%),適合快速制版(如服裝印花)。 ? 環(huán)保型:采用無(wú)鉻配方(如CN10243143A),通過(guò)多元固化體系(熱固化+光固化)實(shí)現(xiàn)12-15mJ/cm2快速曝光,分辨率達(dá)2μm,符合歐盟REACH標(biāo)準(zhǔn)。 功能細(xì)分 ? 耐溶劑型:如日本村上AD20,耐酒精、甲苯等溶劑,適用...
國(guó)家戰(zhàn)略支持 《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金三期規(guī)劃》將光刻膠列為重點(diǎn)投資領(lǐng)域,計(jì)劃投入超500億元支持研發(fā)。工信部對(duì)通過(guò)驗(yàn)證的企業(yè)給予稅收減免和設(shè)備采購(gòu)補(bǔ)貼,單家企業(yè)比較高補(bǔ)貼可達(dá)研發(fā)投入的30%。 地方產(chǎn)業(yè)協(xié)同 濟(jì)南設(shè)立寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)專(zhuān)項(xiàng)基金,深圳國(guó)際半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)業(yè)展覽會(huì)(2025年4月)吸引全球300余家企業(yè)參展,推動(dòng)技術(shù)交流。 資本助力產(chǎn)能擴(kuò)張 恒坤新材通過(guò)科創(chuàng)板IPO募資15億元,擴(kuò)大KrF光刻膠產(chǎn)能并布局集成電路前驅(qū)體項(xiàng)目。彤程新材半導(dǎo)體光刻膠業(yè)務(wù)2024年上半年?duì)I收增長(zhǎng)54.43%,ArF光刻膠開(kāi)始形成銷(xiāo)售。...
《光刻膠在MicroLED巨量轉(zhuǎn)移中的**性應(yīng)用》技術(shù)痛點(diǎn)MicroLED芯片尺寸<10μm,傳統(tǒng)Pick&Place轉(zhuǎn)移良率<99.9%,光刻膠圖形化鍵合方案可突破瓶頸。**工藝臨時(shí)鍵合膠:聚酰亞胺基熱釋放膠(耐溫>250°C),厚度均一性±0.1μm。激光解離(355nm)后殘留物<5nm。選擇性吸附膠:微井陣列(井深=芯片高度120%)光刻成型,孔徑誤差<0.2μm。表面能梯度設(shè)計(jì)(井底親水/井壁疏水),吸附精度99.995%。量產(chǎn)優(yōu)勢(shì)轉(zhuǎn)移速度達(dá)100萬(wàn)顆/小時(shí)(傳統(tǒng)方法*5萬(wàn)顆)。適用于曲面顯示器(汽車(chē)AR-HUD)。半導(dǎo)體先進(jìn)制程(如7nm以下)依賴(lài)EUV光刻膠實(shí)現(xiàn)更精細(xì)的圖案化。深...
《化學(xué)放大光刻膠(CAR):DUV時(shí)代的***》技術(shù)突破化學(xué)放大光刻膠(ChemicalAmplifiedResist,CAR)通過(guò)光酸催化劑(PAG)實(shí)現(xiàn)“1光子→1000+反應(yīng)”,靈敏度提升千倍,支撐248nm(KrF)、193nm(ArF)光刻。材料體系KrF膠:聚對(duì)羥基苯乙烯(PHS)+DNQ/磺酸酯PAG。ArF膠:丙烯酸酯共聚物(避免苯環(huán)吸光)+鎓鹽PAG。頂層抗反射層(TARC):減少駐波效應(yīng)(厚度≈光波1/4λ)。工藝挑戰(zhàn)酸擴(kuò)散控制:PAG尺寸<1nm,后烘溫度±2°C精度。缺陷控制:顯影后殘留物需<0.001個(gè)/?。前烘(Pre-Bake)和后烘(Post-Bake)工藝可去...
光伏電池(半導(dǎo)體級(jí)延伸) ? HJT/TOPCon電池:在硅片表面圖形化金屬電極,使用高靈敏度光刻膠(曝光能量≤50mJ/cm2),線(xiàn)寬≤20μm,降低遮光損失。 ? 鈣鈦礦電池:用于電極圖案化和層間隔離,需耐有機(jī)溶劑(適應(yīng)溶液涂布工藝)。 納米壓印技術(shù)(下一代光刻) ? 納米壓印光刻膠:通過(guò)模具壓印實(shí)現(xiàn)10nm級(jí)分辨率,用于3D NAND存儲(chǔ)孔陣列(直徑≤20nm)、量子點(diǎn)顯示陣列等。 微流控與生物醫(yī)療 ? 微流控芯片:制造微米級(jí)流道(寬度10-100μm),材料需生物相容性(如PDMS...
關(guān)鍵工藝流程 涂布: ? 在晶圓/基板表面旋涂光刻膠,厚度控制在0.1-5μm(依制程精度調(diào)整),需均勻無(wú)氣泡(旋涂轉(zhuǎn)速500-5000rpm)。 前烘(Soft Bake): ? 加熱(80-120℃)去除溶劑,固化膠膜,增強(qiáng)附著力(避免顯影時(shí)邊緣剝離)。 曝光: ? 光源匹配: ? G/I線(xiàn)膠:汞燈(適用于≥1μm線(xiàn)寬,如PCB、LCD)。 ? DUV膠(248nm/193nm):KrF/ArF準(zhǔn)分子激光(用于28nm-1...
關(guān)鍵工藝流程 涂布與前烘: ? 旋涂或噴涂負(fù)性膠,厚度可達(dá)1-100μm(遠(yuǎn)厚于正性膠),前烘溫度60-90℃,去除溶劑并增強(qiáng)附著力。 曝光: ? 光源以**汞燈G線(xiàn)(436nm)**為主,適用于≥1μm線(xiàn)寬,曝光能量較高(約200-500mJ/cm2),需注意掩膜版與膠膜的貼合精度。 顯影: ? 使用有機(jī)溶劑顯影液(如二甲苯、醋酸丁酯),未曝光的未交聯(lián)膠膜溶解,曝光的交聯(lián)膠膜保留。 后處理: ? 后烘(Post-Bake):加熱(100-150℃)進(jìn)一步...
技術(shù)挑戰(zhàn)與發(fā)展趨勢(shì) 更高分辨率需求: ? EUV光刻膠需解決“線(xiàn)邊緣粗糙度(LER)”問(wèn)題(目標(biāo)<5nm),通過(guò)納米顆粒分散技術(shù)或新型聚合物設(shè)計(jì)改善。 缺陷控制: ? 半導(dǎo)體級(jí)正性膠要求金屬離子含量<1ppb,顆粒(>50nm)<1個(gè)/mL,需優(yōu)化提純工藝(如多級(jí)過(guò)濾+真空蒸餾)。 國(guó)產(chǎn)化突破: ? 國(guó)內(nèi)企業(yè)(如上海新陽(yáng)、南大光電、容大感光)已在KrF/ArF膠實(shí)現(xiàn)批量供貨,但EUV膠仍被日本JSR、美國(guó)陶氏、德國(guó)默克壟斷,需突破樹(shù)脂合成、PAG純度等瓶頸。 ...
主要優(yōu)勢(shì):細(xì)分領(lǐng)域技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同 技術(shù)積累與自主化能力 公司擁有23年光刻膠研發(fā)經(jīng)驗(yàn),實(shí)現(xiàn)了從樹(shù)脂合成、光引發(fā)劑制備到配方優(yōu)化的全流程自主化。例如,其納米壓印光刻膠通過(guò)自主開(kāi)發(fā)的樹(shù)脂體系,分辨率達(dá)3μm,適用于MEMS傳感器、光學(xué)器件等領(lǐng)域,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。 技術(shù)壁壘:掌握光刻膠主要原材料(如樹(shù)脂、光酸)的合成技術(shù),部分原材料純度達(dá)PPT級(jí),金屬離子含量低于0.1ppb,良率超99%。 產(chǎn)品多元化與技術(shù)化布局 產(chǎn)品線(xiàn)覆蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD光刻膠、半導(dǎo)體錫膏等,形成“光刻膠+配套材料”的完整體系。例如:...
吉田半導(dǎo)體的自研產(chǎn)品已深度融入國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈: 芯片制造:YK-300 光刻膠服務(wù)中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ),支持國(guó)產(chǎn) 14nm 芯片量產(chǎn)。 顯示面板:YK-200 LCD 光刻膠市占率達(dá) 15%,成為京東方、華星光電戰(zhàn)略合作伙伴。 新能源領(lǐng)域:無(wú)鹵無(wú)鉛焊片通過(guò) UL 認(rèn)證,批量應(yīng)用于寧德時(shí)代儲(chǔ)能系統(tǒng),年供貨量超 500 噸。 研發(fā)投入:年研發(fā)費(fèi)用占比超 15%,承擔(dān)國(guó)家 02 專(zhuān)項(xiàng)課題,獲 “國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)”。 產(chǎn)能規(guī)模:光刻膠年產(chǎn)能 5000 噸,納米壓印光刻膠占全球市場(chǎng)份額 15%。 質(zhì)量體系:通過(guò) ISO9...
吉田半導(dǎo)體的自研產(chǎn)品已深度融入國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈: 芯片制造:YK-300 光刻膠服務(wù)中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ),支持國(guó)產(chǎn) 14nm 芯片量產(chǎn)。 顯示面板:YK-200 LCD 光刻膠市占率達(dá) 15%,成為京東方、華星光電戰(zhàn)略合作伙伴。 新能源領(lǐng)域:無(wú)鹵無(wú)鉛焊片通過(guò) UL 認(rèn)證,批量應(yīng)用于寧德時(shí)代儲(chǔ)能系統(tǒng),年供貨量超 500 噸。 研發(fā)投入:年研發(fā)費(fèi)用占比超 15%,承擔(dān)國(guó)家 02 專(zhuān)項(xiàng)課題,獲 “國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)”。 產(chǎn)能規(guī)模:光刻膠年產(chǎn)能 5000 噸,納米壓印光刻膠占全球市場(chǎng)份額 15%。 質(zhì)量體系:通過(guò) ISO9...
主要優(yōu)勢(shì):細(xì)分領(lǐng)域技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同 技術(shù)積累與自主化能力 公司擁有23年光刻膠研發(fā)經(jīng)驗(yàn),實(shí)現(xiàn)了從樹(shù)脂合成、光引發(fā)劑制備到配方優(yōu)化的全流程自主化。例如,其納米壓印光刻膠通過(guò)自主開(kāi)發(fā)的樹(shù)脂體系,分辨率達(dá)3μm,適用于MEMS傳感器、光學(xué)器件等領(lǐng)域,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。 技術(shù)壁壘:掌握光刻膠主要原材料(如樹(shù)脂、光酸)的合成技術(shù),部分原材料純度達(dá)PPT級(jí),金屬離子含量低于0.1ppb,良率超99%。 產(chǎn)品多元化與技術(shù)化布局 產(chǎn)品線(xiàn)覆蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD光刻膠、半導(dǎo)體錫膏等,形成“光刻膠+配套材料”的完整體系。例如:...
作為深耕半導(dǎo)體材料領(lǐng)域二十余年的綜合性企業(yè),廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司始終將環(huán)保理念融入產(chǎn)品研發(fā)與生產(chǎn)全流程。公司位于東莞松山湖產(chǎn)業(yè)集群,依托區(qū)域產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢(shì),持續(xù)推出符合國(guó)際環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體材料解決方案。 公司在錫膏、焊片等產(chǎn)品中采用無(wú)鹵無(wú)鉛配方,嚴(yán)格遵循 RoHS 指令要求,避免使用有害物質(zhì)。以錫膏為例,其零鹵素配方通過(guò)第三方機(jī)構(gòu)認(rèn)證,不僅減少了電子產(chǎn)品廢棄后的環(huán)境負(fù)擔(dān),還提升了焊接可靠性,適用于新能源汽車(chē)、精密電子設(shè)備等領(lǐng)域。同時(shí),納米壓印光刻膠與 LCD 光刻膠的生產(chǎn)過(guò)程中,公司通過(guò)優(yōu)化原料配比,減少揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)排放,確保產(chǎn)品符合歐盟 REACH 法規(guī)...
吉田半導(dǎo)體突破光刻膠共性難題,提升行業(yè)生產(chǎn)效率,通過(guò)優(yōu)化材料配方與工藝,吉田半導(dǎo)體解決光刻膠留膜率低、蝕刻損傷等共性問(wèn)題,助力客戶(hù)降本增效。 針對(duì)傳統(tǒng)光刻膠留膜率低、蝕刻損傷嚴(yán)重等問(wèn)題,吉田半導(dǎo)體研發(fā)的 T150A KrF 光刻膠留膜率較同類(lèi)產(chǎn)品高 8%,密集圖形側(cè)壁垂直度達(dá)標(biāo)率提升 15%。其納米壓印光刻膠采用特殊交聯(lián)技術(shù),在顯影過(guò)程中減少有機(jī)溶劑對(duì)有機(jī)半導(dǎo)體的損傷,使芯片良率提升至 99.8%。這些技術(shù)突破有效降低客戶(hù)生產(chǎn)成本,推動(dòng)行業(yè)生產(chǎn)效率提升。不同制程對(duì)光刻膠的性能要求各異,需根據(jù)工藝需求精確選擇。甘肅光刻膠生產(chǎn)廠(chǎng)家作為東莞松山湖的企業(yè),吉田半導(dǎo)體深耕光刻膠領(lǐng)域 23 年,成功研發(fā)出...
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司以光刻膠為中心,逐步拓展至半導(dǎo)體全材料領(lǐng)域,形成了 “技術(shù)驅(qū)動(dòng)、全產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋” 的發(fā)展格局。公司產(chǎn)品不僅包括芯片與 LCD 光刻膠,還延伸至錫膏、焊片、靶材等配套材料,為客戶(hù)提供一站式采購(gòu)服務(wù)。 市場(chǎng)與榮譽(yù): 產(chǎn)品遠(yuǎn)銷(xiāo)全球 50 多個(gè)地區(qū),客戶(hù)包括電子制造服務(wù)商(EMS)及半導(dǎo)體廠(chǎng)商。 獲評(píng) “廣東省專(zhuān)精特新企業(yè)”“廣東省創(chuàng)新型中小企業(yè)”,并通過(guò)技術(shù)企業(yè)認(rèn)證。 生產(chǎn)基地配備自動(dòng)化設(shè)備,年產(chǎn)能超千噸,滿(mǎn)足大規(guī)模訂單需求。 未來(lái)展望: 公司計(jì)劃進(jìn)一步擴(kuò)大研發(fā)中心規(guī)模,聚焦第三代...