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等靜壓成型是在傳統(tǒng)干壓成型基礎(chǔ)上發(fā)展起來的特種成型方法。它利用流體傳遞壓力，從各個(gè)方向均勻地向彈性模具內(nèi)的粉體施加壓力。由于流體內(nèi)部壓力的一致性，粉體在各個(gè)方向承受的壓力都一樣，因此能避免坯體內(nèi)密度的差別。 等靜壓成型有濕袋式等靜壓和干袋式等靜壓之分...

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。 背景技術(shù)： 在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨...

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂主要由以下幾個(gè)部分組成： 吸盤：用于吸附晶圓，通常采用真空吸附原理。吸盤材料應(yīng)具有耐磨、耐腐蝕、低粒子產(chǎn)生等特性，以保證晶圓表面不受污染。 機(jī)械臂：用于支撐和移動(dòng)吸盤，實(shí)現(xiàn)晶圓在不同工藝設(shè)備間的傳送。機(jī)械臂應(yīng)具有高精度、高穩(wěn)定性...

混料機(jī)耐磨陶瓷襯板特點(diǎn)：具有耐磨、抗沖擊、耐腐蝕、耐高溫、施工方便等特點(diǎn)，是電力、冶金、煤炭、石 油、水泥、化工、機(jī)械等行業(yè)物料（如灰渣、煤粉、礦精粉、尾礦、水泥等）輸送設(shè)備表面耐磨的理想材料，在高溫腐蝕、高溫磨損或高溫熔蝕的場(chǎng)合下使用非常安 全可靠。 混料機(jī)...

中國(guó)擁有龐大的制造業(yè)，是世界弟一工業(yè)機(jī)器人市場(chǎng)，有著1000多家與工業(yè)機(jī)器人相關(guān)的企業(yè)。但是現(xiàn)階段中國(guó)在機(jī)械臂制造領(lǐng)域處于大而不強(qiáng)的狀態(tài)。擁有自主品牌的工業(yè)機(jī)械臂的數(shù)量和市場(chǎng)占有份額偏低?，F(xiàn)在國(guó)內(nèi)很多機(jī)器人企業(yè)有很多都不是在真心實(shí)意地在做技術(shù)，很多都是跟著...

微孔陶瓷吸盤的性能2018-10-1917:01高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附,同時(shí)也可作氣浮平臺(tái)，廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密...

3) 加速度反饋控制。Khorrami FarShad 和Jain Sandeep研究了利用末端加速度反饋控制柔性機(jī)械臂的末端軌跡控制問題。4) 被動(dòng)阻尼控制。為降低柔性體相對(duì)彈性變形的影響 選用各種耗能或儲(chǔ)能材料設(shè)計(jì)臂的結(jié)構(gòu)以控制振動(dòng)。 或者在柔性梁上采用阻...

耐磨涂層膠泥該產(chǎn)品耐磨防腐性能在耐磨材料里是首屈一指的，無可替代的。超聚合陶瓷耐磨復(fù)合涂層是由高性能耐磨顆粒(陶瓷)與改性增韌耐熱樹脂進(jìn)行復(fù)合得到的高性能耐磨聚合材料。***用于修復(fù)因高溫、沖蝕、腐蝕和氣蝕對(duì)設(shè)備的磨損，也用于在有耐磨、防腐要求的機(jī)...

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機(jī)械手，該真空吸附機(jī)械手包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái)；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于...

精密結(jié)構(gòu)陶瓷是一種具有 度、高硬度、耐高溫、耐腐蝕等特性的陶瓷材料。它在各種應(yīng)用場(chǎng)景中發(fā)揮著重要作用。首先，精密結(jié)構(gòu)陶瓷在航空航天領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。例如，陶瓷剎車片用于飛機(jī)和火箭的著陸裝置，具有耐高溫、耐磨、重量輕等優(yōu)點(diǎn)。此外，陶瓷基復(fù)合材料可以用于制造飛機(jī)...

耐磨陶瓷襯磚外觀白色，帶子母扣，一般分直磚，斜磚，半磚和薄磚，端頭用直磚，筒體直磚和斜磚搭配使用耐磨陶瓷襯磚用途：用于球磨機(jī)、管道等耐磨內(nèi)襯，耐磨陶瓷襯磚特點(diǎn)：(1)氧化鋁含量92%，純度高，不會(huì)對(duì)研磨物料造成污染(2)耐磨性好，耐磨性能是錳鋼的2...

背景技術(shù)： 晶圓的生產(chǎn)與制作屬極為精密的加工技術(shù)，其通常需借助晶圓傳輸裝置來進(jìn)行運(yùn)輸傳遞等作業(yè)。例如，準(zhǔn)備對(duì)晶圓進(jìn)行刻蝕加工時(shí)，需要利用晶圓傳輸裝置將晶舟內(nèi)的待刻蝕晶圓傳輸至刻蝕機(jī)臺(tái)內(nèi)。 現(xiàn)有一種晶圓傳輸裝置包括機(jī)械手臂，該機(jī)械手臂的表面設(shè)有卡...

注塑行業(yè)機(jī)械臂常稱為注塑機(jī)機(jī)械手、塑料機(jī)機(jī)械手，它可模仿人體上肢的部分功能代替人工用于自動(dòng)剪水口、模內(nèi)鑲件、模內(nèi)貼標(biāo)、模外組裝、整形、分類、堆疊、產(chǎn)品包裝、模具優(yōu)化等等。且可以對(duì)其進(jìn)行自動(dòng)控制使其按照預(yù)定要求輸送制品或操持工具進(jìn)行生產(chǎn)操作的自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備。...

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。 背景技術(shù)： 在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨...

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，...

4、Al-SiO2法 Al-SiO2法是目前制備氧化鋁陶瓷中采用最多的方法。該方法將Al金屬和SiO2粉體混合均勻后，在Ar氣條件下進(jìn)行反應(yīng)，反應(yīng)溫度一般為1300～1500 ℃ ，反應(yīng)時(shí)間為2～4h，制備得到氧化鋁陶瓷。 Al-SiO2...

過濾和分離 1．超純水的制備和除菌 用硅藻土或粘土熟料質(zhì)制成的多孔陶瓷濾芯，已用于飲水、石油油井注水用水等的除菌和凈化，還用于注射液的消毒過濾，以及電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、光學(xué)透鏡研磨用的超純水的凈化等。 2．廢水處理 用多孔陶瓷過濾工...

***，氧化鋯陶瓷能夠直接燒成的平面度是非常好的，所以很多后膜集成電路，制冷器以及臭氧發(fā)生器等都是由氧化鋯陶瓷加工而成的，可以說這種陶瓷材質(zhì)制作而成的產(chǎn)品比其他材質(zhì)更具優(yōu)勢(shì)。第二，采用注射成型技術(shù)，通過良好的收縮比控制，再加上后期的加工，氧化鋯陶瓷...

半導(dǎo)體行業(yè)，尤其是集成電路領(lǐng)域，晶圓的身影隨處可見。 晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片，而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu)，使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。 眼前這密密麻麻的元器件，被整整齊齊的安放在...

、孔氧化鋁襯板的鑒別需要在掌握氧化鋁基礎(chǔ)知識(shí)上進(jìn)行，氧化鋁在制造過程中將氧化鋁的原粉濕磨到大約四百，將濕粉烘干添加添加劑做成造粒粉，使用模具給它定型，放到窯爐內(nèi)燒制，窯爐大概在一千四百度的溫度，制作過程的每一步都要認(rèn)真仔細(xì)，每一步都影響著產(chǎn)品的質(zhì)量...

氧化鋁耐磨陶瓷襯片是以Al2O3為主要原料，以稀有金屬氧化物為熔劑，經(jīng)一千七百度高溫焙燒而成的特種剛玉陶瓷。 Al2O3陶瓷襯片：氧化鋁含量高，結(jié)構(gòu)比較致密，具有特殊的性能，故稱為特種陶瓷。Al2O3陶瓷材料是以氧離子構(gòu)成的密排六方結(jié)構(gòu)，而鋁離子填充于三分之二...

高純型氧化鋁陶瓷系A(chǔ)l2O3含量在99．9%以上的陶瓷材料，由于其燒結(jié)溫度高達(dá)1650—1990℃，透射波長(zhǎng)為1～6μm，在電子工業(yè)中可用作集成電路基板與高頻絕緣材料。 氧化鋯陶瓷呈白色，含雜質(zhì)時(shí)呈黃色或灰色，一般含有HfO2，不易分離。在...

材質(zhì) (1)高硅質(zhì)硅酸鹽材料，它主要以硬質(zhì)瓷渣、耐酸陶瓷渣及其他耐酸的合成陶瓷顆粒為骨料，具有耐水性、耐酸性，使用溫度達(dá)700℃。 (2)鋁硅酸鹽材料，它以耐火粘土熟料、燒礬土、硅線石和合成莫來石顆粒為骨料。具有耐酸性和耐弱堿性，使用溫度達(dá)1 ...

進(jìn)行光刻： 將設(shè)計(jì)好的電路掩模，置于光刻機(jī)的紫外射線下，然后再在它的下面放置Wafer，這一刻，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉，刻上了電路圖。然后將光刻膠去除，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致，然后進(jìn)行再次光刻。一般來說一個(gè)晶圓的電路要經(jīng)過...

建模理論柔性機(jī)械臂動(dòng)力學(xué)方程的建立主要是利用Lagrange方程和NeWton-Euler方程這兩個(gè)相當(dāng)有代表性的方程。另外比較常用的還有變分原理,虛位移原理以及Kane方程的方法。而柔性體變形的描述是柔性機(jī)械臂系統(tǒng)建模與控制的基礎(chǔ)。因此因首先選擇...

氧化鋯陶瓷具 隨著社會(huì)不斷的發(fā)展，在結(jié)構(gòu)陶瓷方面，由于氧化鋯陶瓷具有高韌性、高抗彎強(qiáng)度和高耐磨性，優(yōu)異的隔熱性能，熱膨脹系數(shù)接近于鋼等優(yōu)點(diǎn)，因此被廣泛應(yīng)用于結(jié)構(gòu)陶瓷領(lǐng)域。那么氧化鋯陶瓷可以應(yīng)用在哪些方面呢？ 一、耐火材料 氧化鋯陶瓷的化學(xué)...

組織遺傳制備工藝 該工藝是利用植物材質(zhì)(木材、竹子等)的天然多孔組織，將其在800~1000℃下和惰性氣體環(huán)境中熱解碳化得到與木材多孔結(jié)構(gòu)幾乎完全相同的碳預(yù)制體。然后以碳預(yù)制體為模板，1600℃時(shí)液態(tài)硅蒸發(fā)形成的硅蒸汽滲入模板與碳化合形成...

2、工業(yè)高溫窯爐 氧化鋁陶瓷具有優(yōu)異的耐高溫、熱穩(wěn)定性好、熱導(dǎo)率低、熱容小、耐機(jī)械振動(dòng)等性能，導(dǎo)熱系數(shù)和容重分別只有傳統(tǒng)耐火材料的1/10和1/15，綜合性能好，是理想的節(jié)能增效耐火材料，用于工作溫度高于1400 ℃的鋼鐵工業(yè)各種熱處理爐，陶瓷燒成窯...

3) 加速度反饋控制。Khorrami FarShad 和Jain Sandeep研究了利用末端加速度反饋控制柔性機(jī)械臂的末端軌跡控制問題。4) 被動(dòng)阻尼控制。為降低柔性體相對(duì)彈性變形的影響 選用各種耗能或儲(chǔ)能材料設(shè)計(jì)臂的結(jié)構(gòu)以控制振動(dòng)。 或者在柔性梁上采用阻...

精密結(jié)構(gòu)陶瓷具有許多獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。以下是其中的三個(gè)主要方面：1.高耐久性：精密結(jié)構(gòu)陶瓷的耐久性 超過許多傳統(tǒng)材料。這是因?yàn)樘沾刹牧系挠捕雀撸瘜W(xué)穩(wěn)定性好，抗腐蝕性能強(qiáng)。這種特性使精密結(jié)構(gòu)陶瓷在各種惡劣環(huán)境中都能保持長(zhǎng)期的穩(wěn)定性。2.抗高溫性能：精密結(jié)構(gòu)陶瓷的另一...