吉田半導(dǎo)體突破 ArF 光刻膠技術(shù)壁壘，國(guó)產(chǎn)替代再迎新進(jìn)展
自主研發(fā) ArF 光刻膠通過(guò)中芯國(guó)際驗(yàn)證，吉田半導(dǎo)體填補(bǔ)國(guó)內(nèi)光刻膠空白。
吉田半導(dǎo)體成功研發(fā)出 AT-450 ArF 光刻膠，分辨率達(dá) 90nm，適用于 14nm 及以上制程，已通過(guò)中芯國(guó)際量產(chǎn)驗(yàn)證。該產(chǎn)品采用國(guó)產(chǎn)原材料與自主配方，突破日本企業(yè)對(duì) ArF 光刻膠的壟斷。其光酸產(chǎn)率提升 30%，蝕刻選擇比達(dá) 4:1，性能對(duì)標(biāo)日本信越的 ArF 系列。吉田半導(dǎo)體的技術(shù)突破加速了國(guó)產(chǎn)芯片制造材料自主化進(jìn)程，為國(guó)內(nèi)晶圓廠提供高性?xún)r(jià)比解決方案。
吉田半導(dǎo)體光刻膠，45nm 制程驗(yàn)證，國(guó)產(chǎn)替代方案！東莞油墨光刻膠
吉田半導(dǎo)體 SU-3 負(fù)性光刻膠：國(guó)產(chǎn)技術(shù)賦能 5G 芯片封裝
自主研發(fā) SU-3 負(fù)性光刻膠支持 3 微米厚膜加工，成為 5G 芯片高密度封裝材料。
針對(duì) 5G 芯片封裝需求，吉田半導(dǎo)體自主研發(fā) SU-3 負(fù)性光刻膠，分辨率達(dá) 1.5μm，抗深蝕刻速率 > 500nm/min。其超高感光度與耐化學(xué)性確保復(fù)雜圖形的完整性，已應(yīng)用于高通 5G 基帶芯片量產(chǎn)。產(chǎn)品采用國(guó)產(chǎn)原材料與工藝，不采用國(guó)外材料，成本較進(jìn)口產(chǎn)品降低 40%，幫助客戶(hù)提升封裝良率至 98.5%，為國(guó)產(chǎn) 5G 芯片制造提供關(guān)鍵材料支撐。
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吉田半導(dǎo)體助力區(qū)域經(jīng)濟(jì)，構(gòu)建半導(dǎo)體材料生態(tài)圈，發(fā)揮企業(yè)作用，吉田半導(dǎo)體聯(lián)合上下游資源，推動(dòng)?xùn)|莞松山湖半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新。
作為松山湖產(chǎn)業(yè)集群重要成員，吉田半導(dǎo)體聯(lián)合光刻機(jī)制造商、光電子企業(yè)共建材料生態(tài)圈。公司通過(guò)技術(shù)輸出與資源共享，幫助本地企業(yè)提升工藝水平，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新。例如，與華中科技大學(xué)合作研發(fā)的 T150A KrF 光刻膠，極限分辨率 120nm，工藝寬容度優(yōu)于日本信越同類(lèi)產(chǎn)品，已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)并出口東南亞，為區(qū)域經(jīng)濟(jì)發(fā)展注入新動(dòng)能。
國(guó)家大基金三期：注冊(cè)資本3440億元，明確將光刻膠列為重點(diǎn)投資領(lǐng)域，計(jì)劃投入超500億元支持樹(shù)脂、光引發(fā)劑等原料研發(fā)，相當(dāng)于前兩期投入總和的3倍。
地方專(zhuān)項(xiàng)政策：湖北省對(duì)通過(guò)驗(yàn)證的光刻膠企業(yè)給予設(shè)備采購(gòu)補(bǔ)貼+稅收減免，武漢太紫微憑借全流程國(guó)產(chǎn)化技術(shù)獲中芯國(guó)際百萬(wàn)級(jí)訂單；福建省提出2030年化工新材料自給率達(dá)90%，光刻膠是重點(diǎn)突破方向。
研發(fā)專(zhuān)項(xiàng)：科技部“雙十計(jì)劃”設(shè)立20億元經(jīng)費(fèi)，要求2025年KrF/ArF光刻膠國(guó)產(chǎn)化率突破10%，并啟動(dòng)EUV光刻膠預(yù)研。
光刻膠生產(chǎn)工藝流程與應(yīng)用。
光刻膠的主要應(yīng)用領(lǐng)域
光刻膠是微電子制造的主要材料，廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
半導(dǎo)體制造
功能：在晶圓表面形成微細(xì)電路圖案，作為蝕刻或離子注入的掩膜。
分類(lèi)：
正性光刻膠：曝光區(qū)域溶解于顯影液，形成與掩膜版一致的圖案（主流，分辨率高）。
負(fù)性光刻膠：未曝光區(qū)域溶解，形成反向圖案（用于早期工藝，耐蝕刻性強(qiáng)）。
技術(shù)演進(jìn)：隨制程精度提升，需匹配不同曝光波長(zhǎng)（紫外UV、深紫外DUV、極紫外EUV），例如EUV光刻膠用于7nm以下制程。
平板顯示（LCD/OLED）
彩色濾光片（CF）：在玻璃基板上制作紅/綠/藍(lán)像素單元，光刻膠用于圖案化黑矩陣（BM）、彩色層（R/G/B）和保護(hù)層。
電極圖案：制作TFT-LCD的電極線(xiàn)路或OLED的陰極/陽(yáng)極，需高透光率和精細(xì)邊緣控制。
印刷電路板（PCB）
線(xiàn)路蝕刻：在覆銅板上涂膠，曝光顯影后保留線(xiàn)路區(qū)域，蝕刻去除未保護(hù)的銅箔，形成導(dǎo)電線(xiàn)路。
阻焊與字符層：阻焊膠覆蓋非線(xiàn)路區(qū)域，防止短路；字符膠用于印刷電路板標(biāo)識(shí)。
LED與功率器件
芯片制造：在藍(lán)寶石/硅基板上制作電極和量子阱結(jié)構(gòu)，需耐高功率環(huán)境的耐高溫光刻膠。
Micro-LED：微米級(jí)芯片轉(zhuǎn)移和陣列化，依賴(lài)超高分辨率光刻膠（分辨率≤5μm）。
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產(chǎn)品特點(diǎn)：耐溶劑型優(yōu)良，抗潮耐水性好，耐印率高；固含量高，流平性好，涂布性能優(yōu)良；經(jīng)特殊乳化聚合技術(shù)處理，網(wǎng)版平滑、無(wú)白點(diǎn)、無(wú)沙眼、亮度高；剝膜性好，網(wǎng)版可再生使用；解像性、高架橋性好，易做精細(xì)網(wǎng)點(diǎn)和線(xiàn)條；感光度高，曝光時(shí)間短，曝光寬容度大，節(jié)省網(wǎng)版作業(yè)時(shí)間，提高工作效率 。
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應(yīng)用范圍：適用于塑料、皮革、標(biāo)牌、印刷電路板（PCB）、廣告宣傳、玻璃、陶瓷、紡織品等產(chǎn)品的印刷。例如在塑料表面形成牢固圖案，滿(mǎn)足皮革制品精細(xì)印刷需求，制作各類(lèi)標(biāo)牌保證圖案清晰，用于 PCB 制造滿(mǎn)足高精度要求等。
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