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新巴頓分子泵軸承采用多道密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),以滿足機(jī)械行業(yè)對(duì)真空系統(tǒng)的防泄漏要求。主密封采用迷宮式密封與骨架油封組合,迷宮間隙控制在 0.1-0.3mm,配合真空泵油形成液封,泄漏率≤1×10??Pa?m3/s。在半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中,這種密封系統(tǒng)可防止工藝氣體(如 NF?、Cl?)滲入軸承腔,避免潤滑劑失效。輔助密封采用 O 型圈(材質(zhì)為氟橡膠 Viton),耐溫范圍 - 20℃至 + 200℃,在機(jī)械啟停的溫度波動(dòng)中保持彈性,確保密封面的貼合壓力≥0.5MPa。密封系統(tǒng)的整體設(shè)計(jì)使分子泵軸承在 10??Pa 高真空環(huán)境下仍能維持穩(wěn)定的密封性能,為機(jī)械工藝的真空度提供可靠保障。生物基潤滑脂,新巴頓分子泵軸承環(huán)??山到猓鹾蠙C(jī)械可持續(xù)發(fā)展。C1902X205Y16分子泵軸承采購
分子泵軸承作為真空系統(tǒng)主要部件,承擔(dān)著支撐高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子、確保真空腔體內(nèi)氣流穩(wěn)定的關(guān)鍵作用。其工作環(huán)境通常要求轉(zhuǎn)速高達(dá) 10 萬 - 15 萬轉(zhuǎn) / 分鐘,因此對(duì)軸承的動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性、耐磨性能及熱傳導(dǎo)性提出嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。在半導(dǎo)體制造中,分子泵軸承需維持納米級(jí)制程所需的超高真空(10??Pa 以下),若軸承失效將導(dǎo)致腔室污染,直接影響芯片良率。新巴頓(上海)軸承銷售有限公司針對(duì)此類需求,提供基于陶瓷球與不銹鋼套圈的組合方案,通過優(yōu)化滾道弧度設(shè)計(jì),使軸承在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的溫升控制在 30℃以內(nèi),滿足半導(dǎo)體設(shè)備 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行的可靠性要求。南京巴頓C1910X205Y101分子泵軸承巴頓分子泵軸承:高性能分子泵軸承,助力半導(dǎo)體生產(chǎn)。
針對(duì)機(jī)械行業(yè)的能效優(yōu)化需求,新巴頓分子泵軸承通過摩擦學(xué)設(shè)計(jì)降低能量損耗。滾動(dòng)體與滾道的表面粗糙度優(yōu)化至 Ra≤0.05μm,配合低粘度潤滑劑(40℃運(yùn)動(dòng)粘度 10-20mm2/s),使摩擦系數(shù)在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定在 0.002-0.005。在磁懸浮分子泵中,這種設(shè)計(jì)可將軸承功耗占比降至整機(jī)的 3% 以下,較傳統(tǒng)設(shè)計(jì)提升能效 12%。通過摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)測試(載荷 200N,轉(zhuǎn)速 30000rpm,持續(xù) 100 小時(shí)),軸承的磨損量≤5μm,表面無明顯劃痕,證明其在機(jī)械長期運(yùn)行中的低摩擦特性。能效提升的同時(shí),也減少了機(jī)械因摩擦發(fā)熱導(dǎo)致的熱變形風(fēng)險(xiǎn),維持系統(tǒng)精度穩(wěn)定性。
新巴頓分子泵軸承的清潔度達(dá)到 ISO 4406:1999 標(biāo)準(zhǔn)的 12/9 級(jí),滿足高真空機(jī)械的嚴(yán)苛要求。生產(chǎn)過程中采用超聲波清洗(溶劑為異丙醇),配合真空干燥(壓力≤10?3Pa,溫度 60℃),去除表面殘留雜質(zhì)(顆粒尺寸>5μm 的污染物≤10 個(gè) / 100cm2)。在半導(dǎo)體離子注入設(shè)備中,這種高清潔度軸承可避免微粒污染晶圓,使工藝良率提升至 99.5% 以上。軸承裝配在潔凈室(Class 100)中進(jìn)行,操作人員穿戴無塵服,工具經(jīng)過紫外消毒,確保分子泵軸承在機(jī)械安裝后,不會(huì)成為真空系統(tǒng)的污染源,維持 10??Pa 級(jí)別的高真空環(huán)境。熱膨脹補(bǔ)償機(jī)制,新巴頓分子泵軸承維持機(jī)械溫度變化下的精度。
為滿足機(jī)械行業(yè)的全球化需求,新巴頓建立了分子泵軸承的國際物流網(wǎng)絡(luò)。通過 DHL、FedEx 等國際快遞,常規(guī)型號(hào)可在 3-5 個(gè)工作日送達(dá)亞太地區(qū),5-7 個(gè)工作日送達(dá)歐美;大宗貨物采用空運(yùn)(上海浦東機(jī)場至法蘭克福、洛杉磯等樞紐),清關(guān)時(shí)間≤24 小時(shí)。針對(duì)海外機(jī)械客戶的特殊需求,提供本地化倉儲(chǔ)服務(wù)(如在越南、墨西哥設(shè)立保稅倉),庫存周轉(zhuǎn)率達(dá) 8 次 / 年,縮短交貨周期至 7-10 天。國際物流方案的優(yōu)化使新巴頓分子泵軸承能夠快速響應(yīng)全球機(jī)械市場的需求,支持國內(nèi)機(jī)械企業(yè)的海外項(xiàng)目拓展。壽命預(yù)測模型精確,新巴頓分子泵軸承為機(jī)械維護(hù)提供科學(xué)依據(jù)。C1904X205Y19分子泵軸承哪家好
額定載荷經(jīng)精確計(jì)算,新巴頓分子泵軸承滿足機(jī)械不同工況的負(fù)載需求。C1902X205Y16分子泵軸承采購
在存在電磁干擾的機(jī)械環(huán)境中(如磁懸浮分子泵、高頻加熱設(shè)備),新巴頓分子泵軸承采用抗干擾解決方案。軸承組件使用非磁性材料(如 AISI 440C 不銹鋼,磁導(dǎo)率 μ≤1.05),避免磁場影響軸承運(yùn)轉(zhuǎn);絕緣軸承(內(nèi)圈或外圈鍍陶瓷絕緣層,厚度 20-30μm)可承受 1000V 以上的軸電壓,防止電腐蝕導(dǎo)致的早期失效。在電機(jī)行業(yè)的真空測試設(shè)備中,這種設(shè)計(jì)可避免高頻電流(10-100kHz)對(duì)軸承的損傷,延長使用壽命至普通軸承的 2 倍以上,保障機(jī)械系統(tǒng)的長期可靠運(yùn)行。C1902X205Y16分子泵軸承采購