精密環(huán)控柜主要由設備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設備內(nèi)部通過風機引導氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實現(xiàn)潔凈度百級、十級、一級，溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來，已為相關領域客戶提供了穩(wěn)定的實驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務，獲得了眾多好評。精密環(huán)控柜可滿足可實現(xiàn)潔凈度百級、十級、一級等不同潔凈度要求。精密環(huán)境

質(zhì)譜儀在半導體和電子芯片制造中承擔著對材料成分、雜質(zhì)含量等進行高精度分析的重任。其工作原理基于對離子的精確檢測與分析，而環(huán)境中的微小干擾都可能影響離子的產(chǎn)生、傳輸與檢測過程。例如，空氣中的塵埃顆?？赡芪皆陔x子源或檢測器表面，導致檢測信號失真；溫濕度的波動可能改變儀器內(nèi)部電場、磁場的分布，影響離子的飛行軌跡與檢測精度。精密環(huán)控柜通過高效的空氣過濾系統(tǒng)，實現(xiàn)超高水準的潔凈度控制，確保質(zhì)譜儀工作環(huán)境無塵、無雜質(zhì)。同時，憑借高超的溫濕度控制能力，將溫度波動控制在極小范圍，維持濕度穩(wěn)定，為質(zhì)譜儀提供穩(wěn)定的工作環(huán)境，保證其對半導體材料的分析結果準確可靠。在半導體產(chǎn)業(yè)不斷追求更高集成度、更小芯片尺寸的發(fā)展趨勢下，精密環(huán)控柜的環(huán)境保障作用愈發(fā)關鍵，助力質(zhì)譜儀為半導體材料研發(fā)、芯片制造工藝優(yōu)化等提供有力的數(shù)據(jù)支撐，推動半導體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)創(chuàng)新與發(fā)展。光學顯微鏡環(huán)境設備采購擁有超高水準潔凈度控制能力，可達百級以上潔凈標準。

精密環(huán)控柜能夠?qū)崿F(xiàn)如此性能，背后蘊含著先進而復雜的原理。在溫度控制方面，自主研發(fā)的高精密控溫技術是關鍵所在。通過高精度傳感器實時監(jiān)測柜內(nèi)溫度，將數(shù)據(jù)反饋至控制系統(tǒng)?？刂葡到y(tǒng)依據(jù)預設的精確溫度值，以 0.1% 的控制輸出精度，調(diào)節(jié)制冷（熱）系統(tǒng)的運行功率。例如，當溫度高于設定值時，制冷系統(tǒng)迅速啟動，精確控制制冷量，使溫度快速回落至目標范圍；反之，加熱系統(tǒng)則及時介入。對于濕度控制，利用先進的濕度調(diào)節(jié)裝置，通過冷凝除濕或蒸汽加濕等方式，依據(jù)傳感器反饋的濕度數(shù)據(jù)，將設備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性控制在 ±0.5%@8h 。在潔凈度控制上，采用多層高效潔凈過濾器，通過物理攔截、靜電吸附等原理，對進入柜內(nèi)的空氣進行深度過濾，確?？蓪崿F(xiàn)百級以上潔凈度控制，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3 。

在精密模具制造這一精益求精的領域，溫濕度控制是保障產(chǎn)品質(zhì)量的關鍵要素。模具型腔對精度有著嚴苛要求，這就決定了整個加工過程必須維持高度穩(wěn)定。一旦溫度出現(xiàn)波動，模具鋼材料會因熱脹冷縮而發(fā)生細微形變，直接影響型腔尺寸精度。這在注塑成型環(huán)節(jié)影響尤甚，極有可能導致塑料制品出現(xiàn)尺寸偏差、飛邊等明顯缺陷。而當濕度異常時，潮濕空氣就像隱藏的 “破壞者”，悄無聲息地侵蝕模具表面，致使模具生銹、腐蝕。這不僅大幅降低模具的使用壽命，還會增加生產(chǎn)成本，對模具在汽車、家電等眾多行業(yè)的應用效果產(chǎn)生負面影響，阻礙相關產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。針對一些局部溫度波動精度要求比較高的區(qū)域，可以采用局部氣浴的控制方式，對局部進行高精密溫控。

刻蝕的目的在于去除硅片上不需要的材料，從而雕琢出精細的電路結構。在這一精細操作過程中，溫度的波動都會如同“蝴蝶效應”般，干擾刻蝕速率的均勻性。當溫度不穩(wěn)定時，硅片不同部位在相同時間內(nèi)所經(jīng)歷的刻蝕程度將參差不齊，有的地方刻蝕過度，有的地方刻蝕不足，直接破壞芯片的電路完整性，嚴重影響芯片性能。濕度方面，一旦出現(xiàn)不穩(wěn)定狀況，刻蝕環(huán)境中的水汽會與刻蝕氣體發(fā)生復雜的化學反應，生成一些難以預料的雜質(zhì)。這些雜質(zhì)可能會附著在芯片表面，或是嵌入剛剛刻蝕形成的微觀電路結構中，給芯片質(zhì)量埋下深深的隱患，后續(xù)即便經(jīng)過多道清洗工序，也難以徹底根除這些隱患帶來的負面影響。高精密恒溫恒濕潔凈環(huán)境的長期穩(wěn)定運行離不開具有高精度傳感器的恒溫恒濕設備。浙江0.5℃環(huán)境

根據(jù)高精密行業(yè)用戶的反饋，對產(chǎn)品進行持續(xù)優(yōu)化，不斷提升設備的適用性和穩(wěn)定性。精密環(huán)境

超高精度溫度控制是精密環(huán)控柜的一大突出亮點。其自主研發(fā)的高精密控溫技術，使得控制輸出精度達到驚人的 0.1% ，這意味著對溫度的調(diào)控能夠精細到極小的范圍。設備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性在關鍵區(qū)域可達 +/-2mK (靜態(tài)) ，無論外界環(huán)境如何變化，都能保證關鍵部位的溫度處于極其穩(wěn)定的狀態(tài)。內(nèi)部溫度規(guī)格可在 22.0°C (可調(diào)) ，滿足不同用戶對溫度的個性化需求。而且溫度水平均勻性小于 16mK/m ，確保柜內(nèi)各個角落的溫度幾乎一致，避免因溫度差異導致的實驗誤差或產(chǎn)品質(zhì)量問題。再加上設備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h ，以及壓力穩(wěn)定性可達 +/-3Pa ，連續(xù)穩(wěn)定工作時間大于 144h ，為對溫濕度、壓力要求苛刻的實驗和生產(chǎn)提供了可靠的環(huán)境保障，讓長時間的科研實驗和精密制造得以順利進行。精密環(huán)境