激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應(yīng)用已成為一大發(fā)展趨勢,其特點是測量精度快、反應(yīng)速度快、易于數(shù)字化測量。在測量中設(shè)計一個精密導(dǎo)軌,將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測,從而形成對比,位移傳感器自動檢定系統(tǒng)與HP干涉儀對定位移進行測試對比,得出往復(fù)測試實驗結(jié)果。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外,如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。激光干涉儀可用于精密機床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等在線位置測量。成都數(shù)控軸精度激光干涉儀廠家有哪些
鏡組的靈活使用:激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等,實際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調(diào)整的時間。同時,激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學直角器,達到改變光路,方便測量的目的。這需要,了解設(shè)備性能、掌握測量技巧,在滿足測量準確度的前提下活學活用。數(shù)控軸平行度激光干涉儀加工生產(chǎn)可進行滾珠絲桿的動態(tài)特性分析。
激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀的信號交流信號,因而對于激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進行放大,這樣,即使光強衰減90%,依然可以得到合適的電信號。激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等,也可以在普通車間內(nèi)為大型機床的刻度進行標定。
激光具有高的強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。對激光干涉儀要小心輕放,避免強烈的沖擊震動。
激光干涉儀常見故障及解決方法:開機無顯示:1、是否接上電源打開開關(guān)。2、顯示器是否切換到BNC模式。視場不完整:1、標準鏡頭是否旋到位。2、標準鏡頭星點是否與尋星窗口中間的黑點重合。高度調(diào)節(jié)不明顯:檢查高度調(diào)節(jié)旋鈕是否鎖緊。干涉條紋暗:調(diào)節(jié)干涉儀上的亮度調(diào)節(jié)旋鈕。干涉條紋亂:檢查標準鏡頭與被測透鏡表面是否干凈。被測鏡片星點像找不到:調(diào)整鏡片的中心,看鏡片是否放置的傾斜。條紋亮暗閃動:調(diào)節(jié)標準鏡頭的圓形圖像。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。精密激光干涉儀安裝
影響激光干涉儀測量精度的因素包括:激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性。成都數(shù)控軸精度激光干涉儀廠家有哪些
激光波長是高測量精度的基礎(chǔ),然而激光的波長會受到空氣折射率的影響。數(shù)控機床維修是一項集計算機、自動控制、自動檢測和電機拖動等于一體的技術(shù),需要數(shù)控機床維修人員掌握大量的專業(yè)知識和豐富的數(shù)控機床維修經(jīng)驗。因此,在日常數(shù)控機床維修中,如何盡快的找到故障原因并排除故障,提高設(shè)備完好率,是數(shù)控機床維修人員的首要任務(wù)。當出現(xiàn)機床精度異常、零件表面質(zhì)量變差等問題時,就需要借助一些先進的精度檢測儀器。激光干涉儀作為數(shù)控機床精度常用的檢測工具,能對數(shù)控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進行測量。成都數(shù)控軸精度激光干涉儀廠家有哪些