激光干涉儀初步調(diào)整后，固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶，通過“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后，取下分光鏡光靶，將Z軸升高，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度，同時(shí)透過“尾部”調(diào)整使激光對(duì)準(zhǔn)反光鏡光靶，若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光，則將Z軸停止上升回到起始處，重新調(diào)整“整體”，再次對(duì)準(zhǔn)反射鏡光靶。緊接著再升Z軸，繼續(xù)調(diào)整“尾部”，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復(fù)整個(gè)過程，往往幾次即可達(dá)到準(zhǔn)直要求。激光干涉儀使用注意事項(xiàng)：必要時(shí)要使用精密儀表油潤滑。蘇州數(shù)控機(jī)床公差激光干涉儀安裝

激光干涉儀使用注意事項(xiàng)：1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用。2、在移動(dòng)儀器時(shí)，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動(dòng)。3、儀器的光學(xué)零件在不用時(shí)，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放，以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動(dòng)部件，應(yīng)當(dāng)保持良好的潤滑。因此必要時(shí)要使用精密儀表油潤滑。6、在使用時(shí)應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況，合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿，保持其不失油。科研開發(fā)激光干涉儀購買可進(jìn)行滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析。

激光干涉儀的使用方法：透鏡面形檢測(cè)：調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸，（建議大批量固定透鏡的檢測(cè)，自己加工固定的沉座）放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點(diǎn)與標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)重合，觀測(cè)顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋，條紋越少精度越高。此外，干涉圖像與對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)同步，無需切換，任何人都能簡單操作。高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)選擇加長的測(cè)試軌道來配合測(cè)量尺寸，可簡便的測(cè)量出曲率半徑。透鏡曲率半徑檢測(cè)：開啟標(biāo)尺電源開關(guān)（清零），調(diào)整圖像到看清直線干涉條紋(3條到5條），凸透鏡向上調(diào)節(jié)高度（凹透鏡向下調(diào)節(jié)高度）到第2個(gè)星點(diǎn)出現(xiàn)的時(shí)候調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)鏡頭調(diào)節(jié)旋鈕，使圖像出現(xiàn)貓眼像，標(biāo)尺移動(dòng)的數(shù)值就為被測(cè)透鏡的曲率半徑。

數(shù)控機(jī)床維修是一項(xiàng)集計(jì)算機(jī)、自動(dòng)控制、自動(dòng)檢測(cè)和電機(jī)拖動(dòng)等于一體的技術(shù)，需要數(shù)控機(jī)床維修人員掌握大量的專業(yè)知識(shí)和豐富的數(shù)控機(jī)床維修經(jīng)驗(yàn)。因此，在日常數(shù)控機(jī)床維修中，如何盡快的找到故障原因并排除故障，提高設(shè)備完好率，是數(shù)控機(jī)床維修人員的首要任務(wù)。當(dāng)出現(xiàn)機(jī)床精度異常、零件表面質(zhì)量變差等問題時(shí)，就需要借助一些先進(jìn)的精度檢測(cè)儀器。激光干涉儀作為數(shù)控機(jī)床精度常用的檢測(cè)工具，能對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行線性測(cè)量、直線度測(cè)量、平面度測(cè)量、角度測(cè)量、回轉(zhuǎn)軸分度精度等進(jìn)行測(cè)量。激光干涉儀常配合筆記本電腦使用。

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長度測(cè)量?！案缮娣ā笔且环N利用波(通常是光波、無線電波或聲波)干涉現(xiàn)象的測(cè)量方法。測(cè)量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、較高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度。激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、較高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。東莞激光干涉儀廠商

影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括：溫濕度、壓力傳感器誤差。蘇州數(shù)控機(jī)床公差激光干涉儀安裝

激光干涉儀以其優(yōu)異的亞納米精度和精密度普遍應(yīng)用于光學(xué)表面的評(píng)價(jià)，在精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域用途普遍。到激光干涉儀工作原理和一臺(tái)干涉儀所應(yīng)具備的基本組構(gòu)。激光干涉儀是精度較高的線性位移測(cè)量儀器，其光波可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，可溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。激光束路徑與被測(cè)軸之間存在的任何未準(zhǔn)直都會(huì)造成測(cè)得的距離和實(shí)際的運(yùn)動(dòng)距離之間有差異，此誤差被稱為余弦誤差。當(dāng)激光測(cè)量系統(tǒng)與運(yùn)動(dòng)軸未準(zhǔn)直時(shí)，余弦誤差會(huì)使得測(cè)量的距離比實(shí)際距離要短。隨著未準(zhǔn)直角度的增加，誤差也跟著明顯增加。蘇州數(shù)控機(jī)床公差激光干涉儀安裝