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重慶離心甩干機廠家

來源: 發(fā)布時間:2025-07-14

晶圓甩干機是助力半導體制造的關(guān)鍵干燥設(shè)備。它基于離心力原理工作,將晶圓放置在甩干機的旋轉(zhuǎn)平臺上,高速旋轉(zhuǎn)使晶圓表面液體在離心力作用下被甩出。甩干機的結(jié)構(gòu)設(shè)計注重穩(wěn)定性和可靠性,旋轉(zhuǎn)平臺采用you zhi 材料,具備良好的平整度和同心度,保證晶圓在旋轉(zhuǎn)過程中平穩(wěn)。驅(qū)動電機動力強勁且調(diào)速精確,能滿足不同工藝對轉(zhuǎn)速的需求??刂葡到y(tǒng)智能化,可實現(xiàn)自動化操作,方便操作人員設(shè)置甩干參數(shù)。在半導體制造過程中,清洗后的晶圓經(jīng)甩干機處理,去除殘留液體,防止液體殘留對后續(xù)光刻、蝕刻等工藝造成負面影響,如導致蝕刻過度,為半導體制造提供高質(zhì)量的干燥晶圓。智能控制系統(tǒng):支持一鍵啟停、定時調(diào)節(jié),操作簡便,新手也能快速上手。重慶離心甩干機廠家

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控制系統(tǒng)是立式甩干機的“大腦”,它由先進的可編程邏輯控制器(PLC)或工業(yè)計算機作為主要控制單元,搭配各類高精度的傳感器和執(zhí)行器組成。傳感器包括轉(zhuǎn)速傳感器,用于實時監(jiān)測轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)速度;液位傳感器,安裝在液體收集槽內(nèi),監(jiān)測廢液液位高度;壓力傳感器,檢測腔體內(nèi)的氣壓變化;溫度傳感器和濕度傳感器,監(jiān)控腔體內(nèi)的環(huán)境參數(shù)等。執(zhí)行器則包括電機驅(qū)動器,根據(jù)控制器的指令精確調(diào)節(jié)電機的轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)向;閥門驅(qū)動器,控制液體排放閥門和氣體流量閥門的開閉程度;加熱元件(部分甩干機為加速干燥或維持特定環(huán)境溫度而配備)的功率控制器等??刂葡到y(tǒng)通過預設(shè)的控制算法,對這些傳感器和執(zhí)行器進行實時監(jiān)控和協(xié)調(diào)管理,實現(xiàn)對甩干機整個工作過程的自動化控制。例如,根據(jù)晶圓的類型、工藝要求以及傳感器反饋的信息,自動調(diào)整轉(zhuǎn)臺的轉(zhuǎn)速、腔體內(nèi)的氣壓、氣流溫度和濕度等參數(shù),確保每一次甩干操作都能在 optimnm 的工藝條件下進行。同時,控制系統(tǒng)還具備完善的人機交互界面(HMI),操作人員可以通過觸摸屏或操作面板方便地設(shè)置工藝參數(shù)、啟動和停止設(shè)備、查看設(shè)備的運行狀態(tài)和歷史記錄等信息,并且在設(shè)備出現(xiàn)故障時,能夠迅速提供詳細的故障診斷報告和維修建議。河北SIC甩干機設(shè)備高速旋轉(zhuǎn)的晶圓在甩干機內(nèi)形成強大的離心場,促使液體快速脫離晶圓表面。

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甩干機工作原理一、離心力作用原理晶圓甩干機的he心工作原理是離心力。當設(shè)備的轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時,放置在轉(zhuǎn)子內(nèi)的晶圓隨之做圓周運動。根據(jù)離心力公式2(其中為離心力,是液體質(zhì)量,是角速度,是旋轉(zhuǎn)半徑),液體在強大離心力的作用下,克服與晶圓表面的附著力以及自身的表面張力,沿著轉(zhuǎn)子壁的切線方向被甩出。為了產(chǎn)生足夠的離心力,電機驅(qū)動轉(zhuǎn)子以較高的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。不同型號的晶圓甩干機轉(zhuǎn)速不同,但一般都能達到數(shù)千轉(zhuǎn)每分鐘甚至更高,以確保有效去除晶圓表面的各種液體。二、輔助干燥機制除了離心力甩干,許多晶圓甩干機還配備了通風系統(tǒng)。在甩干過程中,清潔、干燥的空氣被引入轉(zhuǎn)子內(nèi)部。一方面,氣流可以幫助帶走被離心力甩出的液體;另一方面,氣流在晶圓表面流動,加速液體的蒸發(fā)。對于一些揮發(fā)性較低的液體殘留,通風系統(tǒng)的作用尤為重要。部分先進的晶圓甩干機還會采用加熱或超聲等輔助技術(shù)。加熱可以提高液體的溫度,加快其蒸發(fā)速度;超聲技術(shù)則通過高頻振動破壞液體的表面張力,使液體更容易從晶圓表面脫離,進一步增強干燥效果。

每個半導體制造企業(yè)的生產(chǎn)需求都具有獨特性,臥式晶圓甩干機提供定制服務,為企業(yè)量身打造 適合的設(shè)備。專業(yè)的研發(fā)團隊會根據(jù)企業(yè)的晶圓材質(zhì)、尺寸、生產(chǎn)工藝以及場地條件等因素,進行個性化的設(shè)計和配置。從設(shè)備的選型、結(jié)構(gòu)設(shè)計到控制系統(tǒng)的定制,都充分考慮企業(yè)的實際需求。例如,對于空間有限的企業(yè),可設(shè)計緊湊的臥式結(jié)構(gòu);對于對甩干速度和精度要求極高的企業(yè),可配備高性能的電機和先進的控制系統(tǒng)。同時,還提供設(shè)備的安裝調(diào)試、培訓以及售后維護等一站式服務,確保設(shè)備能順利投入使用并長期穩(wěn)定運行,滿足企業(yè)的個性化生產(chǎn)需求。雙腔甩干機支持快速排水,內(nèi)置排水管道防止積水殘留。

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臥式甩干機基于離心力原理工作。當裝有晶圓的轉(zhuǎn)鼓開始高速旋轉(zhuǎn)時,晶圓表面殘留的液體(如清洗液、刻蝕液等)在離心力作用下被甩離晶圓表面。離心力的大小由轉(zhuǎn)鼓轉(zhuǎn)速和晶圓到旋轉(zhuǎn)中心的距離決定,根據(jù)公式2(其中是離心力,是液體質(zhì)量,是角速度,是旋轉(zhuǎn)半徑),通過精確控制轉(zhuǎn)鼓轉(zhuǎn)速,可以產(chǎn)生足夠強大的離心力,使液體沿轉(zhuǎn)鼓切線方向甩出。在甩干過程中,除了離心力的直接作用,設(shè)備內(nèi)部的通風系統(tǒng)也發(fā)揮關(guān)鍵作用。清潔、干燥的空氣被引入轉(zhuǎn)鼓內(nèi)部,在晶圓表面形成氣流,加速液體的蒸發(fā)。同時,由于不同液體的揮發(fā)性不同,在離心力和氣流的共同作用下,揮發(fā)性較強的成分會更快地揮發(fā),使晶圓表面達到高度干燥狀態(tài)。在晶圓甩干過程中,離心力使得液體均勻地從晶圓表面甩出,確保干燥效果的一致性。福建水平甩干機報價

離心力的大小與晶圓甩干機的旋轉(zhuǎn)速度平方成正比,這使得它能夠快速有效地甩干晶圓。重慶離心甩干機廠家

晶圓甩干機在芯片制造中扮演著不可或缺的角色。它利用離心力這一物理原理,將附著在晶圓表面的液體迅速去除。當晶圓被放置在高速旋轉(zhuǎn)的甩干機內(nèi),液體在離心力作用下脫離晶圓,實現(xiàn)快速干燥。從結(jié)構(gòu)上看,甩干機的旋轉(zhuǎn)軸經(jīng)過精密加工,保障了旋轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性。旋轉(zhuǎn)盤與晶圓接觸良好,防止刮傷晶圓。驅(qū)動電機動力穩(wěn)定且調(diào)速精確,能根據(jù)不同工藝要求調(diào)整轉(zhuǎn)速??刂葡到y(tǒng)智能化程度高,可實現(xiàn)參數(shù)的精 zhun 設(shè)置與實時監(jiān)控。在芯片制造流程中,清洗后的晶圓經(jīng)甩干機處理,有效避免了液體殘留導致的雜質(zhì)污染、氧化等問題,為后續(xù)光刻、蝕刻等關(guān)鍵工藝創(chuàng)造良好條件,極大地助力了高質(zhì)量芯片的制造。重慶離心甩干機廠家