鍍膜均勻性高:蒸發(fā)源能夠在真空環(huán)境中較為均勻地向四周散發(fā)鍍膜材料的氣態(tài)粒子,只要合理設(shè)置工件的位置與角度,就能讓鍍膜材料均勻地沉積在工件表面,為對(duì)鍍膜均勻性要求極高的光學(xué)鏡片提供保障。操作相對(duì)簡(jiǎn)單:設(shè)備的結(jié)構(gòu)和鍍膜流程相對(duì)簡(jiǎn)潔,對(duì)操作人員的技術(shù)門檻要求相對(duì)較低...
蒸發(fā)鍍膜機(jī): 原理與構(gòu)造:蒸發(fā)鍍膜機(jī)利用高溫加熱使鍍膜材料蒸發(fā),氣態(tài)原子或分子在工件表面凝結(jié)成膜。它主要由真空室、蒸發(fā)源、工件架和真空系統(tǒng)構(gòu)成。電阻加熱、電子束加熱、高頻感應(yīng)加熱是常見的蒸發(fā)源加熱方式。電阻加熱通過電流流經(jīng)電阻材料產(chǎn)生熱量;電子束加熱...
蒸發(fā)鍍膜機(jī)原理:通過加熱使鍍膜材料蒸發(fā),蒸發(fā)后的原子或分子在基體表面沉積形成薄膜。應(yīng)用行業(yè):在光學(xué)領(lǐng)域,用于制造增透膜、反射膜等光學(xué)薄膜,以提高光學(xué)元件的性能;在裝飾行業(yè),可在飾品、五金件等表面鍍上金、銀等金屬膜,提升美觀度和價(jià)值。濺射鍍膜機(jī)原理:利用高能粒子...
多樣的材料適應(yīng)性金屬材料鍍膜方便:真空鍍膜機(jī)可以很方便地對(duì)各種金屬材料進(jìn)行鍍膜。例如,對(duì)于金、銀、銅、鋁等常見金屬,既可以采用蒸發(fā)鍍膜的方式,將金屬加熱蒸發(fā)后沉積在基底上,也可以通過濺射鍍膜的方式,用離子轟擊金屬靶材來獲取金屬薄膜。這些金屬薄膜在電子、裝飾等領(lǐng)...
可精確控制薄膜特性: 厚度控制精確:真空鍍膜機(jī)可以精確控制薄膜的厚度。在蒸發(fā)鍍膜中,通過控制鍍膜材料的蒸發(fā)速率和鍍膜時(shí)間,能夠準(zhǔn)確地得到想要的薄膜厚度。例如,在光學(xué)鍍膜中,為了達(dá)到特定的光學(xué)性能,需要將薄膜厚度控制在納米級(jí)精度。一些先進(jìn)的真空鍍膜機(jī)可...
膜體材料的釋放:在真空環(huán)境中,膜體材料(如金屬、合金、化合物等)通過加熱蒸發(fā)或?yàn)R射的方式被釋放出來。蒸發(fā)過程通常涉及加熱蒸發(fā)源,使膜體材料蒸發(fā)成氣態(tài)分子;濺射過程則利用高能粒子(如離子)轟擊靶材,使靶材原子或分子被濺射出來。 分子的沉積:蒸發(fā)或?yàn)R射出的膜體...
多樣的材料適應(yīng)性金屬材料鍍膜方便:真空鍍膜機(jī)可以很方便地對(duì)各種金屬材料進(jìn)行鍍膜。例如,對(duì)于金、銀、銅、鋁等常見金屬,既可以采用蒸發(fā)鍍膜的方式,將金屬加熱蒸發(fā)后沉積在基底上,也可以通過濺射鍍膜的方式,用離子轟擊金屬靶材來獲取金屬薄膜。這些金屬薄膜在電子、裝飾等領(lǐng)...
夾具和工件架維護(hù): 清潔和檢查:夾具和工件架在每次使用后要進(jìn)行清潔,去除殘留的膜材和灰塵。同時(shí),要定期(每季度)檢查夾具和工件架的結(jié)構(gòu)完整性,查看是否有變形、損壞的情況。損壞的夾具和工件架可能導(dǎo)致工件固定不牢,影響鍍膜質(zhì)量。 控制系統(tǒng)維護(hù): ...
可精確控制薄膜特性: 厚度控制精確:真空鍍膜機(jī)可以精確控制薄膜的厚度。在蒸發(fā)鍍膜中,通過控制鍍膜材料的蒸發(fā)速率和鍍膜時(shí)間,能夠準(zhǔn)確地得到想要的薄膜厚度。例如,在光學(xué)鍍膜中,為了達(dá)到特定的光學(xué)性能,需要將薄膜厚度控制在納米級(jí)精度。一些先進(jìn)的真空鍍膜機(jī)可...
技術(shù)升級(jí)與廣泛應(yīng)用(21 世紀(jì)初至今)2000 年代中期至今,以北京中科儀、沈陽中科儀等為的企業(yè)成為行業(yè)者,持續(xù)進(jìn)行技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā),并積極開拓國(guó)際市場(chǎng)。隨著納米技術(shù)和新材料的發(fā)展,真空鍍膜機(jī)在新能源、環(huán)保等領(lǐng)域的應(yīng)用愈發(fā)。在太陽能電池領(lǐng)域,磁控濺射技術(shù)用于...
二次電子的能量利用:濺射過程中產(chǎn)生的二次電子在磁場(chǎng)作用下被束縛在靶材表面附近,進(jìn)一步參與氣體電離,形成自持的放電過程。由于二次電子能量較低,終沉積在基片上的能量很小,基片溫升較低。 磁場(chǎng)分布對(duì)濺射的影響: 平衡磁控濺射:磁場(chǎng)在靶材表面均勻分布,...
二次電子的能量利用:濺射過程中產(chǎn)生的二次電子在磁場(chǎng)作用下被束縛在靶材表面附近,進(jìn)一步參與氣體電離,形成自持的放電過程。由于二次電子能量較低,終沉積在基片上的能量很小,基片溫升較低。 磁場(chǎng)分布對(duì)濺射的影響: 平衡磁控濺射:磁場(chǎng)在靶材表面均勻分布,...
真空離子蒸發(fā)鍍膜機(jī)原理:通過加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來,并沉降在基片表面形成薄膜。磁控濺射鍍膜機(jī)原理:利用電子或高能粒子轟擊靶材,使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并沉積在基片表面形成薄膜。分類:包括直流磁控濺射、射頻磁控濺射、平衡磁...
裝飾和防護(hù)領(lǐng)域: 五金裝飾鍍膜:對(duì)五金制品如門把手、水龍頭等進(jìn)行鍍膜??梢藻兩细鞣N顏色的金屬膜,如仿金色(通過鍍氮化鈦等薄膜來模擬金色外觀),用于裝飾目的,使產(chǎn)品更加美觀。同時(shí),這些鍍膜還可以提供一定的防護(hù)作用,如防腐蝕、防指紋等。 汽車零部件...
鍍膜機(jī)通過以下主要方法實(shí)現(xiàn)薄膜沉積:物相沉積(PVD)真空蒸發(fā)鍍膜:在真空環(huán)境下加熱材料使其蒸發(fā),蒸汽凝結(jié)在基材表面形成薄膜。磁控濺射鍍膜:利用離子轟擊靶材,濺射出的原子沉積在基材上。離子鍍膜:結(jié)合蒸發(fā)和離子轟擊,提高薄膜的致密性和附著力。化學(xué)氣相沉積(C...
化學(xué)氣相沉積(CVD)原理:在化學(xué)氣相沉積過程中,需要將含有薄膜組成元素的氣態(tài)前驅(qū)體(如各種金屬有機(jī)化合物、氫化物等)引入反應(yīng)室。這些氣態(tài)前驅(qū)體在高溫、等離子體或催化劑等條件的作用下,會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成固態(tài)的薄膜物質(zhì),并沉積在基底表面。反應(yīng)過程中,氣態(tài)前驅(qū)體...
精確控制膜層:現(xiàn)代鍍膜機(jī)配備了先進(jìn)的控制系統(tǒng),可以精確控制鍍膜的厚度、成分、均勻性等參數(shù),確保每一批產(chǎn)品的鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定一致。以半導(dǎo)體芯片制造為例,需要精確控制鍍膜厚度在納米級(jí)別,鍍膜機(jī)能夠滿足這種高精度的要求,保證芯片的性能和可靠性。適應(yīng)多種材料:鍍膜機(jī)可以在...
光學(xué)鍍膜機(jī):用于制備增透膜、高反膜、截止濾光片、防偽膜等,廣泛應(yīng)用于光學(xué)鏡頭、眼鏡、激光器等領(lǐng)域。 電子鍍膜機(jī):用于半導(dǎo)體、集成電路的金屬化層、絕緣層沉積,如薄膜電阻器、薄膜電容器等。 裝飾鍍膜機(jī):用于手表、首飾、手機(jī)外殼等裝飾涂層,可實(shí)現(xiàn)仿金...
離子鍍機(jī): 原理與特點(diǎn):離子鍍機(jī)在鍍膜過程中引入離子轟擊,通過高能粒子碰撞改善膜層性能。該技術(shù)膜層附著力極強(qiáng),可制備超硬、耐磨涂層,繞鍍性能優(yōu)異。 優(yōu)勢(shì):適用于航空航天部件防護(hù)涂層(如DLC、TiAlN)、汽車活塞環(huán)耐磨鍍層等??蓪?shí)現(xiàn)多種材料的...
化學(xué)氣相沉積鍍膜機(jī):化學(xué)氣相沉積鍍膜機(jī)依靠氣態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在高溫、低壓環(huán)境下發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成固態(tài)產(chǎn)物并沉積在工件表面。不同類型的化學(xué)氣相沉積鍍膜機(jī),反應(yīng)條件有所不同。常壓化學(xué)氣相沉積在常壓下進(jìn)行,設(shè)備簡(jiǎn)單;低壓化學(xué)氣相沉積在低壓環(huán)境中,能獲得高質(zhì)量薄膜;等離子...
精確控制膜層:現(xiàn)代鍍膜機(jī)配備了先進(jìn)的控制系統(tǒng),可以精確控制鍍膜的厚度、成分、均勻性等參數(shù),確保每一批產(chǎn)品的鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定一致。以半導(dǎo)體芯片制造為例,需要精確控制鍍膜厚度在納米級(jí)別,鍍膜機(jī)能夠滿足這種高精度的要求,保證芯片的性能和可靠性。適應(yīng)多種材料:鍍膜機(jī)可以在...
沉積:氣態(tài)的靶材原子或離子在基材表面冷卻并凝結(jié),形成薄膜。這一過程中,原子或離子在基材表面重新排列組合,形成具有特定結(jié)構(gòu)和性能的薄膜。沉積過程中,氣體的種類和壓力、基材的溫度以及沉積時(shí)間等因素都會(huì)影響薄膜的結(jié)構(gòu)和性能。此外,PVD涂層鍍膜設(shè)備還具有多功能性、薄...
輝光放電與離子轟擊:在真空腔體內(nèi)充入惰性氣體(如氬氣),施加高壓電場(chǎng)使氣體電離,形成等離子體。等離子體中的正離子(如Ar?)在電場(chǎng)作用下加速轟擊靶材表面,將靶材原子或分子濺射出來。 磁場(chǎng)約束電子運(yùn)動(dòng):通過在靶材表面施加垂直電場(chǎng)的磁場(chǎng),使電子在電場(chǎng)和磁...
鍍膜機(jī)的技術(shù)發(fā)展趨勢(shì): 高精度與大尺寸滿足大尺寸面板(如8K電視玻璃)和微納結(jié)構(gòu)的高精度鍍膜需求。環(huán)保與節(jié)能開發(fā)低溫CVD、原子層沉積(ALD)等低能耗技術(shù),減少有害氣體排放。多功能集成結(jié)合光刻、刻蝕等工藝,實(shí)現(xiàn)復(fù)雜功能薄膜的一體化制備。智能化與自動(dòng)...
PVD涂層鍍膜設(shè)備的工作原理主要是在真空環(huán)境下,通過物理過程將固態(tài)材料轉(zhuǎn)化為氣態(tài),并沉積到基材表面形成薄膜。具體來說,其工作原理可以細(xì)分為以下幾個(gè)步驟: 蒸發(fā):在真空環(huán)境中,通過加熱或其他方法(如離子轟擊)將固態(tài)的靶材(即要鍍膜的材料)轉(zhuǎn)化為氣態(tài)。這...
技術(shù)突破與拓展(20 世紀(jì) 60 年代 - 80 年代)到了 60 年代,隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的興起,真空鍍膜機(jī)迎來了重要的發(fā)展契機(jī)。1965 年,寬帶三層減反射系統(tǒng)研制成功,滿足了光學(xué)領(lǐng)域?qū)Ω咝阅鼙∧さ男枨?。與此同時(shí),化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)開始應(yīng)用于硬質(zhì)合金...
其他鍍膜機(jī): 除了PVD和CVD鍍膜機(jī)外,還有如原子層沉積(ALD)鍍膜機(jī)、離子注入機(jī)等特殊類型的鍍膜機(jī),它們?cè)诓煌I(lǐng)域具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用價(jià)值。 原子層沉積(ALD)鍍膜機(jī):原理與特點(diǎn):通過交替引入反應(yīng)前驅(qū)體和惰性氣體,在基底上逐層沉積薄膜。...
離子鍍膜機(jī):利用離子轟擊基板表面以改善涂層附著性和膜厚均勻性,適用于制備金屬、陶瓷和聚合物等材料的薄膜。蒸發(fā)鍍膜機(jī):通過加熱材料讓其蒸發(fā)并沉積在基板表面形成薄膜,包括電阻蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備、電子束蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備等。蒸發(fā)鍍膜機(jī)操作簡(jiǎn)單、制備工藝成熟,廣泛應(yīng)用于金...
精確控制膜層:現(xiàn)代鍍膜機(jī)配備了先進(jìn)的控制系統(tǒng),可以精確控制鍍膜的厚度、成分、均勻性等參數(shù),確保每一批產(chǎn)品的鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定一致。以半導(dǎo)體芯片制造為例,需要精確控制鍍膜厚度在納米級(jí)別,鍍膜機(jī)能夠滿足這種高精度的要求,保證芯片的性能和可靠性。適應(yīng)多種材料:鍍膜機(jī)可以在...
其他鍍膜機(jī): 除了PVD和CVD鍍膜機(jī)外,還有如原子層沉積(ALD)鍍膜機(jī)、離子注入機(jī)等特殊類型的鍍膜機(jī),它們?cè)诓煌I(lǐng)域具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用價(jià)值。 原子層沉積(ALD)鍍膜機(jī):原理與特點(diǎn):通過交替引入反應(yīng)前驅(qū)體和惰性氣體,在基底上逐層沉積薄膜。...