電子信息行業(yè): 半導(dǎo)體與集成電路: 應(yīng)用場(chǎng)景:芯片制造中的金屬互連層(如鋁、銅)、阻擋層(如氮化鈦)及鈍化保護(hù)層。 技術(shù)需求:高純度、低缺陷的薄膜沉積,需采用PVD(如磁控濺射)或ALD技術(shù),確保導(dǎo)電性和穩(wěn)定性。 平板顯示與觸摸屏:...
膜層性能優(yōu)異光學(xué)性能好:通過(guò)真空鍍膜技術(shù)可以精確控制膜層的厚度和折射率,從而獲得具有特定光學(xué)性能的薄膜,如增透膜、反射膜、濾光膜等。這些薄膜在光學(xué)儀器、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。例如,在相機(jī)鏡頭上鍍上多層增透膜,可以提高鏡頭的透光率,減少光線反射,從而提...
環(huán)保與節(jié)能低污染:與一些傳統(tǒng)的鍍膜工藝相比,真空鍍膜設(shè)備在鍍膜過(guò)程中不使用大量的化學(xué)溶劑和電鍍液,減少了廢水、廢氣和廢渣的排放,對(duì)環(huán)境的污染較小。例如傳統(tǒng)的電鍍工藝會(huì)產(chǎn)生含有重金屬離子的廢水,處理難度大且成本高,而真空鍍膜則基本不存在此類問(wèn)題。節(jié)能高效:真空鍍...
膜層質(zhì)量好厚度均勻:在真空環(huán)境中,鍍膜材料的原子或分子能夠均勻地分布在基底表面,從而獲得厚度均勻的薄膜。例如,在光學(xué)鏡片鍍膜中,均勻的膜層厚度可以保證鏡片在不同區(qū)域的光學(xué)性能一致。純度高:真空鍍膜設(shè)備內(nèi)部的高真空環(huán)境有效減少了雜質(zhì)氣體的存在,降低了鍍膜過(guò)程中雜...
電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備:原理:利用電子束直接加熱靶材,使其蒸發(fā)并沉積在基片上。應(yīng)用:主要用于鍍制多層精密光學(xué)膜,如AR膜、長(zhǎng)波通、短波通等,廣泛應(yīng)用于玻璃蓋板、攝像頭、眼鏡片、光學(xué)鏡頭等產(chǎn)品。離子鍍真空鍍膜設(shè)備:原理:通過(guò)離子轟擊靶材或基片,促進(jìn)靶材物質(zhì)的濺射和基...
物理上的氣相沉積(PVD)蒸發(fā)鍍膜原理:將待鍍材料(如金屬、合金或化合物)加熱到高溫使其蒸發(fā),蒸發(fā)后的原子或分子在真空中以氣態(tài)形式運(yùn)動(dòng),然后沉積在溫度較低的基底表面,形成薄膜。加熱方式:常用電阻加熱、電子束加熱等。電阻加熱是通過(guò)電流通過(guò)加熱元件產(chǎn)生熱量,使...
真空鍍膜設(shè)備是一種通過(guò)在真空環(huán)境中使鍍膜材料汽化或離化,然后沉積到工件表面形成薄膜的設(shè)備,其工作原理涉及真空環(huán)境營(yíng)造、鍍膜材料汽化或離化、粒子遷移以及薄膜沉積等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。 真空環(huán)境的營(yíng)造: 目的:減少空氣中氣體分子(如氧氣、氮?dú)猓?duì)鍍膜過(guò)程的干...
鍍膜過(guò)程特點(diǎn)氣相沉積(PVD)和化學(xué)氣相沉積(CVD)方式并存PVD 特點(diǎn):蒸發(fā)鍍膜:在 PVD 蒸發(fā)鍍膜過(guò)程中,材料的蒸發(fā)源是關(guān)鍵。常見(jiàn)的有電阻加熱蒸發(fā)源和電子束加熱蒸發(fā)源。電阻加熱蒸發(fā)源結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本較低,通過(guò)電流加熱使鍍膜材料蒸發(fā)。例如,在鍍金屬薄膜時(shí),...
工具與機(jī)械行業(yè) 切削工具涂層 應(yīng)用場(chǎng)景:鉆頭、銑刀的TiN、TiAlN硬質(zhì)涂層。 技術(shù)需求:高硬度、低摩擦的薄膜,需多弧離子鍍或磁控濺射。 模具與零部件 應(yīng)用場(chǎng)景:注塑模具的DLC(類金剛石)涂層、汽車零部件的耐磨涂層。 ...
膜層性能優(yōu)異光學(xué)性能好:通過(guò)真空鍍膜技術(shù)可以精確控制膜層的厚度和折射率,從而獲得具有特定光學(xué)性能的薄膜,如增透膜、反射膜、濾光膜等。這些薄膜在光學(xué)儀器、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。例如,在相機(jī)鏡頭上鍍上多層增透膜,可以提高鏡頭的透光率,減少光線反射,從而提...
真空鍍膜機(jī)涵蓋多種技術(shù),如真空電阻加熱蒸發(fā)、電子槍加熱蒸發(fā)、磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積、離子束濺射等。這些技術(shù)可以根據(jù)不同的需求和材料特性,在各種領(lǐng)域中發(fā)揮重要作用。蒸發(fā)鍍膜機(jī):通過(guò)加熱靶材使其表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái),并沉降在...
磁控濺射,即受磁場(chǎng)控制的濺射,是一種高速低溫的濺射技術(shù)。它利用磁場(chǎng)束縛和延長(zhǎng)電子的運(yùn)動(dòng)路徑,改變電子的運(yùn)動(dòng)方向,提高工作氣體的電離率和有效利用電子的能量。在高真空的條件下充入適量的氬氣,在陰極(柱狀靶或平面靶)和陽(yáng)極(鍍膜室壁)之間施加直流電壓,在鍍膜室內(nèi)產(chǎn)生...
電子行業(yè)半導(dǎo)體器件制造案例:英特爾、臺(tái)積電等半導(dǎo)體制造企業(yè)在芯片制造過(guò)程中大量使用真空鍍膜設(shè)備。在芯片的電極形成過(guò)程中,通過(guò) PVD 的濺射鍍膜技術(shù),以銅(Cu)或鋁(Al)為靶材,在硅片(Si)基底上濺射沉積金屬薄膜作為電極。同時(shí),利用 CVD 技術(shù),如等離...
真空鍍膜機(jī)的操作與維護(hù)真空鍍膜機(jī)的操作需要嚴(yán)格按照設(shè)備說(shuō)明書進(jìn)行,以確保鍍膜質(zhì)量和設(shè)備安全。一般來(lái)說(shuō),操作過(guò)程包括設(shè)備檢查、送電、抽真空、鍍膜及冷卻等步驟。同時(shí),設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)也至關(guān)重要,這不僅可以延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命,還可以確保鍍膜質(zhì)量的穩(wěn)定性。 定...
光學(xué)與光電子行業(yè): 光學(xué)鏡頭與濾光片 應(yīng)用場(chǎng)景:相機(jī)鏡頭增透膜、激光器高反射膜、分光鏡濾光膜。 技術(shù)需求:精確控制膜層厚度和折射率,需光學(xué)鍍膜設(shè)備(如離子輔助沉積)。 太陽(yáng)能電池 應(yīng)用場(chǎng)景:晶體硅電池的氮化硅減反射膜、異質(zhì)結(jié)電...
高精度的薄膜控制:真空鍍膜設(shè)備能夠精確控制薄膜的各種參數(shù)。在厚度控制方面,通過(guò)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(如石英晶體微天平監(jiān)測(cè)蒸發(fā)鍍膜厚度、光學(xué)監(jiān)測(cè)儀用于濺射鍍膜等)實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜厚度。同時(shí),還可以控制鍍膜的速率,例如在蒸發(fā)鍍膜中,通過(guò)調(diào)節(jié)加熱功率控制材料的蒸發(fā)速率,在濺射鍍膜中...
真空鍍膜機(jī)涵蓋多種技術(shù),如真空電阻加熱蒸發(fā)、電子槍加熱蒸發(fā)、磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積、離子束濺射等。這些技術(shù)可以根據(jù)不同的需求和材料特性,在各種領(lǐng)域中發(fā)揮重要作用。蒸發(fā)鍍膜機(jī):通過(guò)加熱靶材使其表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái),并沉降在...
工具與機(jī)械行業(yè) 切削工具涂層 應(yīng)用場(chǎng)景:鉆頭、銑刀的TiN、TiAlN硬質(zhì)涂層。 技術(shù)需求:高硬度、低摩擦的薄膜,需多弧離子鍍或磁控濺射。 模具與零部件 應(yīng)用場(chǎng)景:注塑模具的DLC(類金剛石)涂層、汽車零部件的耐磨涂層。 ...
鍍膜參數(shù)設(shè)置鍍膜參數(shù)的設(shè)置直接決定了鍍膜的質(zhì)量和性能。操作人員要根據(jù)待鍍材料的種類、工件的要求以及鍍膜機(jī)的特點(diǎn),合理設(shè)置鍍膜溫度、時(shí)間、功率等參數(shù)。在設(shè)置參數(shù)時(shí),要嚴(yán)格按照設(shè)備的操作規(guī)程進(jìn)行,避免因參數(shù)設(shè)置不當(dāng)導(dǎo)致鍍膜失敗或出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題。同時(shí),在鍍膜過(guò)程中,要...
精確的厚度控制:真空鍍膜設(shè)備可以通過(guò)精確控制鍍膜時(shí)間、蒸發(fā)速率、氣體流量等參數(shù),實(shí)現(xiàn)對(duì)膜層厚度的精確控制,能夠滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)膜層厚度的嚴(yán)格要求。比如在電子芯片制造中,需要在芯片表面鍍上厚度精確的金屬膜或介質(zhì)膜來(lái)實(shí)現(xiàn)特定的電學(xué)性能,真空鍍膜設(shè)備可以將膜層厚度...
光學(xué)與光電子行業(yè): 光學(xué)鏡頭與濾光片 應(yīng)用場(chǎng)景:相機(jī)鏡頭增透膜、激光器高反射膜、分光鏡濾光膜。 技術(shù)需求:精確控制膜層厚度和折射率,需光學(xué)鍍膜設(shè)備(如離子輔助沉積)。 太陽(yáng)能電池 應(yīng)用場(chǎng)景:晶體硅電池的氮化硅減反射膜、異質(zhì)結(jié)電...
物理上的氣相沉積(PVD)蒸發(fā)鍍膜原理:將待鍍材料(如金屬、合金或化合物)加熱到高溫使其蒸發(fā),蒸發(fā)后的原子或分子在真空中以氣態(tài)形式運(yùn)動(dòng),然后沉積在溫度較低的基底表面,形成薄膜。加熱方式:常用電阻加熱、電子束加熱等。電阻加熱是通過(guò)電流通過(guò)加熱元件產(chǎn)生熱量,使...
真空鍍膜設(shè)備是一種通過(guò)在真空環(huán)境中使鍍膜材料汽化或離化,然后沉積到工件表面形成薄膜的設(shè)備,其工作原理涉及真空環(huán)境營(yíng)造、鍍膜材料汽化或離化、粒子遷移以及薄膜沉積等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。 真空環(huán)境的營(yíng)造: 目的:減少空氣中氣體分子(如氧氣、氮?dú)猓?duì)鍍膜過(guò)程的干...
技術(shù)優(yōu)勢(shì)高純度:真空環(huán)境避免雜質(zhì)摻入。均勻性:精確控制膜厚和成分。附著力強(qiáng):離子轟擊可改善薄膜與基材的結(jié)合。多功能性:可制備金屬、氧化物、氮化物等多種薄膜。常見(jiàn)類型蒸發(fā)鍍膜機(jī):適用于金屬、合金薄膜。磁控濺射鍍膜機(jī):適用于高硬度、耐磨損涂層。離子鍍膜機(jī):結(jié)合...
粒子遷移與沉積: 粒子運(yùn)動(dòng):汽化或?yàn)R射產(chǎn)生的鍍膜粒子在真空中以直線或近似直線的軌跡向工件表面移動(dòng)(因真空環(huán)境中氣體分子碰撞少)。 薄膜沉積:粒子到達(dá)工件表面后,通過(guò)物理吸附或化學(xué)結(jié)合作用逐漸堆積,形成一層均勻、致密的薄膜。沉積過(guò)程中,工件通常會(huì)...
電子信息行業(yè): 半導(dǎo)體與集成電路: 應(yīng)用場(chǎng)景:芯片制造中的金屬互連層(如鋁、銅)、阻擋層(如氮化鈦)及鈍化保護(hù)層。 技術(shù)需求:高純度、低缺陷的薄膜沉積,需采用PVD(如磁控濺射)或ALD技術(shù),確保導(dǎo)電性和穩(wěn)定性。 平板顯示與觸摸屏:...
鍍膜材料多樣金屬材料:可以鍍制各種金屬,如金、銀、銅、鋁等,這些金屬膜具有良好的導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性和裝飾性等。比如在電子元器件上鍍銀可以提高導(dǎo)電性,在飾品上鍍金則可提升美觀度和價(jià)值。合金材料:能夠?qū)崿F(xiàn)多種合金的鍍膜,通過(guò)調(diào)整合金成分,可以獲得具有特殊性能的膜層,如...
五金裝飾行業(yè): 五金件表面鍍膜案例:在五金裝飾領(lǐng)域,真空鍍膜設(shè)備用于對(duì)各種五金制品進(jìn)行裝飾和防護(hù)鍍膜。例如,對(duì)門把手、水龍頭等進(jìn)行鍍膜。通過(guò) PVD 的蒸發(fā)鍍膜或?yàn)R射鍍膜技術(shù),在五金件表面鍍上各種顏色的金屬膜或陶瓷膜。如鍍氮化鈦(TiN)可以得到金黃...
真空鍍膜設(shè)備是一種通過(guò)在真空環(huán)境中使鍍膜材料汽化或離化,然后沉積到工件表面形成薄膜的設(shè)備,其工作原理涉及真空環(huán)境營(yíng)造、鍍膜材料汽化或離化、粒子遷移以及薄膜沉積等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。 真空環(huán)境的營(yíng)造: 目的:減少空氣中氣體分子(如氧氣、氮?dú)猓?duì)鍍膜過(guò)程的干...
設(shè)備結(jié)構(gòu)特點(diǎn)復(fù)雜的系統(tǒng)集成:真空鍍膜設(shè)備是一個(gè)復(fù)雜的系統(tǒng)集成,主要包括真空系統(tǒng)、鍍膜系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)(對(duì)于需要加熱的鍍膜過(guò)程)、冷卻系統(tǒng)、監(jiān)測(cè)系統(tǒng)等。真空系統(tǒng)是設(shè)備的基礎(chǔ),保證工作環(huán)境的真空度;鍍膜系統(tǒng)是重點(diǎn),實(shí)現(xiàn)薄膜的沉積;加熱系統(tǒng)用于為蒸發(fā)鍍膜等提供熱量...